研判2025！全球及中國前道量檢測設(shè)備發(fā)展背景、市場規(guī)模、企業(yè)格局及未來趨勢分析：市場規(guī)模穩(wěn)步擴張，行業(yè)格局高度集中，國產(chǎn)化程度較低[圖]

內(nèi)容概要：前道量檢測設(shè)備作為半導(dǎo)體設(shè)備市場的重要組成，其市場規(guī)模在半導(dǎo)體設(shè)備中僅次于薄膜沉積設(shè)備、光刻機、刻蝕設(shè)備。據(jù)SEMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，前道量檢測設(shè)備約占半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模的13%。半導(dǎo)體質(zhì)量控制貫穿集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，對芯片生產(chǎn)的良品率的影響至關(guān)重要。數(shù)據(jù)顯示，2024年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達到152.2億美元，同比增長18.7%。隨著制程越來越先進、工藝環(huán)節(jié)不斷增加，行業(yè)發(fā)展對工藝控制水平提出了更高的要求，制造過程中檢測設(shè)備與量測設(shè)備的技術(shù)要求及需求量持續(xù)提升。近年來，得益于中國半導(dǎo)體全行業(yè)的蓬勃發(fā)展和國家近年來對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)的政策扶持，行業(yè)下游晶圓廠在關(guān)鍵工藝節(jié)點上持續(xù)推進，多家國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造企業(yè)進入產(chǎn)能擴張期，中國大陸半導(dǎo)體檢測與量測設(shè)備的市場處于高速發(fā)展期。2020-2024年期間，中國大陸半導(dǎo)體檢測與量測設(shè)備市場規(guī)模的年均復(fù)合增長率達30%，2024年市場規(guī)模達438億元。前道量檢測設(shè)備廣泛應(yīng)用于晶圓制造中多個工藝環(huán)節(jié)，具有技術(shù)壁壘高、制造難度大等特點，需要企業(yè)長時間的投入及技術(shù)積淀，供應(yīng)市場呈現(xiàn)高度集中的格局。目前，全球前道量檢測設(shè)備供應(yīng)市場由KLA、AMAT、Hitachi等少數(shù)國際龍頭企業(yè)主導(dǎo)，2024年前五家企業(yè)占據(jù)了全球超80%的市場份額，其中KLA市占率超50%，市場呈現(xiàn)“一超多強”格局。由于國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)起步相對較晚，前道量檢測設(shè)備的國產(chǎn)化率較低。但近年來，隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，下游對前道量檢測設(shè)備需求快速增長，涌現(xiàn)了中科飛測、上海精測、睿勵儀器、卓?？萍嫉染邆淝暗懒繖z測設(shè)備供應(yīng)能力的企業(yè)。未來，隨著國內(nèi)企業(yè)對前道量檢測設(shè)備技術(shù)原理、制造工藝等方面的進一步理解，設(shè)備的商業(yè)化進程將不斷推進，國內(nèi)品牌市場占有率有望得到進一步提升。

上市企業(yè)：中科飛測(688361)、天準科技(688003)、賽騰股份(603283)、精測電子(300567)、華興源創(chuàng)(688001)等

相關(guān)企業(yè)：睿勵科學(xué)儀器(上海)有限公司、寧波舜宇儀器有限公司、上海精測半導(dǎo)體技術(shù)有限公司、深圳市新凱來技術(shù)有限公司、無錫卓?？萍脊煞萦邢薰?、上海御微半導(dǎo)體技術(shù)有限公司、東方晶源微電子科技(北京)股份有限公司、上海優(yōu)睿譜半導(dǎo)體設(shè)備有限公司、南京中安半導(dǎo)體設(shè)備有限責任公司、奈米科學(xué)儀器裝備(杭州)有限公司、高視科技(蘇州)股份有限公司、匠嶺科技（上海）有限公司、深圳市格靈精睿視覺有限公司、無錫光則科技有限公司

關(guān)鍵詞：前道量檢測設(shè)備發(fā)展背景、前道量檢測設(shè)備市場規(guī)模、前道量檢測設(shè)備企業(yè)格局、前道量檢測設(shè)備發(fā)展趨勢

一、前道量檢測設(shè)備行業(yè)相關(guān)概述

前道量檢測是半導(dǎo)體制造重要的質(zhì)量檢查工藝，涉及膜厚、折射率、膜應(yīng)力等參數(shù)測量，以及各類表面缺陷檢測等，對硅片廠/晶圓廠保障產(chǎn)品良率、產(chǎn)品一致性、降低成本等至關(guān)重要。前道量檢測設(shè)備作為貫穿光刻、刻蝕等晶圓制造全過程的質(zhì)量控制設(shè)備，根據(jù)功能用途的不同，可分為測量設(shè)備和檢測設(shè)備。其中，測量設(shè)備主要用于量化描述晶圓的結(jié)構(gòu)尺寸和材料性質(zhì)，測量薄膜厚度、關(guān)鍵尺寸、刻蝕深度、表面形貌等物理學(xué)參數(shù)，以確保其符合設(shè)計要求；檢測設(shè)備主要用于識別并定位晶圓表面或電路結(jié)構(gòu)中存在的雜質(zhì)顆粒沾污、機械劃傷、晶圓圖案缺陷等問題。

在摩爾定律的推動下，元器件集成度的大幅提高要求晶圓制造不斷向更小制 程的工藝方向發(fā)展，工藝步驟和復(fù)雜程度大幅增加，工藝中產(chǎn)生缺陷的概率也會 大幅上升，需要通過各類型的前道量檢測設(shè)備實現(xiàn)質(zhì)量控制，保證每一道工序幾 乎零缺陷時，才能最終實現(xiàn)較高的產(chǎn)品良品率。因此，前道量檢測設(shè)備是晶圓制 造產(chǎn)線中不可或缺的核心設(shè)備之一。

相關(guān)報告：智研咨詢發(fā)布的《中國前道量檢測設(shè)備行業(yè)市場全景分析及產(chǎn)業(yè)前景研判報告》

二、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

半導(dǎo)體是支撐現(xiàn)代經(jīng)濟社會發(fā)展的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)。半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展水平和國家科技水平息息相關(guān)，其發(fā)展情況已成為全球各國經(jīng)濟、社會發(fā)展的風(fēng)向標，是衡量一個國家或地區(qū)現(xiàn)代化程度和綜合實力的重要標志。隨著現(xiàn)代工業(yè)不斷發(fā)展，半導(dǎo)體行業(yè)整體景氣度持續(xù)提升，全球半導(dǎo)體設(shè)備市場呈現(xiàn)快速增長態(tài)勢，2024年，全球半導(dǎo)體設(shè)備市場增長了10%，從2023年的略微下降中反彈，達到了1170億美元的年度銷售額歷史新高。其中中國、韓國、中國臺灣三地銷售額分別占比42.3%、17.5%、14.1%。2025年上半年全球銷售額達651.2億美元，同比增長22.3%。

在經(jīng)歷了美國至日本，日本至韓國和中國臺灣的兩次產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移后，目前全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正向中國大陸加速轉(zhuǎn)移，中國成為全球最大的半導(dǎo)體生產(chǎn)和消費國。2010年以來，中國逐步承接了半導(dǎo)體封測和晶圓制造業(yè)務(wù)并建立起初具規(guī)模的半導(dǎo)體設(shè)計行業(yè)生態(tài)，完成了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的原始積累，初步完成產(chǎn)業(yè)鏈布局。中國大陸正在成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)能第三次擴張的重要目的地。大陸晶圓代工廠中芯國際、華虹集團，中國臺灣晶圓代工廠臺積電、聯(lián)電、晶合等晶圓廠接連在大陸擴產(chǎn)、建廠，帶動半導(dǎo)體設(shè)備銷售額快速增長，2021年銷售額實現(xiàn)58%的增幅。2022年在疫情、下游需求減弱等因素影響下，我國半導(dǎo)體設(shè)備銷售額出現(xiàn)較大幅度下滑，2023年恢復(fù)增長態(tài)勢。2024年中國市場半導(dǎo)體設(shè)備實現(xiàn)銷售額495.5億美元，同比增長35%。2025年上半年銷售額為216.2億美元，同比下滑13%。

三、前道量檢測設(shè)備行業(yè)市場現(xiàn)狀

1、市場規(guī)模

前道量檢測設(shè)備作為半導(dǎo)體設(shè)備市場的重要組成，其市場規(guī)模在半導(dǎo)體設(shè)備中僅次于薄膜沉積設(shè)備、光刻機、刻蝕設(shè)備。據(jù)SEMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，前道量檢測設(shè)備約占半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模的13%。

半導(dǎo)體質(zhì)量控制貫穿集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，對芯片生產(chǎn)的良品率的影響至關(guān)重要。數(shù)據(jù)顯示，2024年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達到152.2億美元，同比增長18.7%。隨著制程越來越先進、工藝環(huán)節(jié)不斷增加，行業(yè)發(fā)展對工藝控制水平提出了更高的要求，制造過程中檢測設(shè)備與量測設(shè)備的技術(shù)要求及需求量持續(xù)提升。

從技術(shù)原理上看，檢測和量測包括光學(xué)檢測技術(shù)、電子束檢測技術(shù)和X光量測技術(shù)等。目前，在所有半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備中，應(yīng)用光學(xué)檢測技術(shù)的設(shè)備占多數(shù)。據(jù)統(tǒng)計，2024年全球半導(dǎo)體前道量檢測設(shè)備市場中，光學(xué)技術(shù)占比超80%。其次為電子束技術(shù)，占比約為14%。

近年來，得益于中國半導(dǎo)體全行業(yè)的蓬勃發(fā)展和國家近年來對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)的政策扶持，行業(yè)下游晶圓廠在關(guān)鍵工藝節(jié)點上持續(xù)推進，多家國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造企業(yè)進入產(chǎn)能擴張期，中國大陸半導(dǎo)體檢測與量測設(shè)備的市場處于高速發(fā)展期。2020-2024年期間，中國大陸半導(dǎo)體檢測與量測設(shè)備市場規(guī)模的年均復(fù)合增長率達30%，2024年市場規(guī)模達438億元。

2、企業(yè)格局

前道量檢測設(shè)備為高精密設(shè)備，需完成納米級別的測量、檢測工作，主要由傳輸單元、光路處理單元、信號單元、量檢測單元等系統(tǒng)組成，包含成千上萬個具體模塊，涉及高真空腔傳輸技術(shù)、光譜檢測技術(shù)、快速運算技術(shù)、高精度信號檢測技術(shù)等，是光學(xué)、電學(xué)、機械學(xué)、算法、運動控制等多學(xué)科的技術(shù)結(jié)晶。前道量檢測設(shè)備廣泛應(yīng)用于晶圓制造中多個工藝環(huán)節(jié)，具有技術(shù)壁壘高、制造難度大等特點，需要企業(yè)長時間的投入及技術(shù)積淀，供應(yīng)市場呈現(xiàn)高度集中的格局。目前，全球前道量檢測設(shè)備供應(yīng)市場由KLA、AMAT、Hitachi等少數(shù)國際龍頭企業(yè)主導(dǎo)，2024年前五家企業(yè)占據(jù)了全球超80%的市場份額，其中KLA市占率超50%，市場呈現(xiàn)“一超多強”格局。由于國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)起步相對較晚，前道量檢測設(shè)備的國產(chǎn)化率較低。但近年來，隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，下游對前道量檢測設(shè)備需求快速增長，涌現(xiàn)了中科飛測、上海精測、睿勵儀器、卓?？萍嫉染邆淝暗懒繖z測設(shè)備供應(yīng)能力的企業(yè)。在國家政策支持下，我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)進入積極擴產(chǎn)的戰(zhàn)略窗口期，前道量檢測設(shè)備、關(guān)鍵配件的自主研發(fā)和國產(chǎn)化是行業(yè)重要發(fā)展方向，對于國內(nèi)企業(yè)來說是歷史性的機遇。

四、前道量檢測設(shè)備行業(yè)發(fā)展趨勢

1、國內(nèi)品牌市場占有率有望得到提升

前道量檢測設(shè)備市場需求旺盛但產(chǎn)業(yè)發(fā)展水平較低，行業(yè)被少數(shù)國際龍頭企業(yè)所占據(jù)，不管是先進制程還是成熟制程市場，國內(nèi)企業(yè)的市場份額均相對較少。但是，隨著國家對前道量檢測設(shè)備行業(yè)的政策扶持，以及國內(nèi)相關(guān)企業(yè)的不斷積累，未來前道量檢測設(shè)備行業(yè)的發(fā)展路徑將更加明晰。隨著國內(nèi)企業(yè)對前道量檢測設(shè)備技術(shù)原理、制造工藝等方面的進一步理解，設(shè)備的商業(yè)化進程將不斷推進，國內(nèi)品牌市場占有率有望得到進一步提升。

2、檢測和量測設(shè)備各項性能進一步優(yōu)化

隨著工藝不斷進步，產(chǎn)品制程步驟越來越多，微觀結(jié)構(gòu)逐漸復(fù)雜，生產(chǎn)成本呈指數(shù)級提升。為了獲取盡量高的晶圓良品率，必須嚴格控制晶圓之間、同一晶圓上的工藝一致性，因此對集成電路生產(chǎn)過程中的質(zhì)量控制需求將越來越大。未來檢測和量測設(shè)備需在靈敏度、準確性、穩(wěn)定性、吞吐量等指標上進一步提升，保證每道工藝均落在容許的工藝窗口內(nèi)，保證整條生產(chǎn)線平穩(wěn)連續(xù)的運行。

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢（rainbowgiftswholesale.com）發(fā)布的《中國前道量檢測設(shè)備行業(yè)市場全景分析及產(chǎn)業(yè)前景研判報告》。智研咨詢是中國領(lǐng)先產(chǎn)業(yè)咨詢機構(gòu)，提供深度產(chǎn)業(yè)研究報告、商業(yè)計劃書、可行性研究報告及定制服務(wù)等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務(wù)。您可以關(guān)注【智研咨詢】公眾號，每天及時掌握更多行業(yè)動態(tài)。