研判2026！中國刻蝕機(jī)行業(yè)政策、行業(yè)壁壘、產(chǎn)業(yè)鏈、市場規(guī)模、競爭格局及發(fā)展趨勢分析：競爭格局高度集中且激烈，中國企業(yè)將扮演越來越重要的角色[圖]

內(nèi)容概要：刻蝕機(jī)是一種用于半導(dǎo)體制造的工藝試驗(yàn)儀器，它通過將化學(xué)反應(yīng)物和物理能量相結(jié)合，去除材料表面的一部分，從而創(chuàng)建所需的微細(xì)結(jié)構(gòu)，主要用來制造半導(dǎo)體器件、光伏電池及其他微機(jī)械等。近年來，全球刻蝕機(jī)市場規(guī)模呈增長趨勢。2023年全球刻蝕機(jī)市場規(guī)模約為148.2億美元，同比增長5.93%，2024年市場規(guī)模約為156.5億美元。2025年全球刻蝕機(jī)市場規(guī)模將達(dá)164.8億美元。

上市企業(yè)：中微公司[688012]、屹唐股份[SH:688729]、北方華創(chuàng)[002371]

相關(guān)企業(yè)：中國電科、創(chuàng)世威納科技、金盛微納科技、芯源科創(chuàng)、華林科納、LAMResearch、TEL、AMAT

關(guān)鍵詞：刻蝕機(jī)行業(yè)政策、刻蝕機(jī)行業(yè)壁壘、刻蝕機(jī)行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈、刻蝕機(jī)市場規(guī)模、刻蝕機(jī)市場競爭格局、刻蝕機(jī)行業(yè)發(fā)展趨勢

一、刻蝕機(jī)行業(yè)定義及分類

刻蝕機(jī)是一種用于半導(dǎo)體制造的工藝試驗(yàn)儀器。它通過將化學(xué)反應(yīng)物和物理能量相結(jié)合，去除材料表面的一部分，從而創(chuàng)建所需的微細(xì)結(jié)構(gòu)。刻蝕機(jī)主要分為濕法刻蝕機(jī)和干法刻蝕機(jī)，其中，濕法刻蝕機(jī)分為化學(xué)刻蝕機(jī)和電解刻蝕機(jī)；干法刻蝕機(jī)分為離子銑刻蝕機(jī)、等離子刻蝕機(jī)和反應(yīng)離子刻蝕機(jī)。

二、刻蝕機(jī)行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

刻蝕機(jī)主要用來制造半導(dǎo)體器件、光伏電池及其他微機(jī)械等。近年來，全球刻蝕機(jī)市場規(guī)模呈增長趨勢。2023年全球刻蝕機(jī)市場規(guī)模約為148.2億美元，同比增長5.93%，2024年市場規(guī)模約為156.5億美元。2025年全球刻蝕機(jī)市場規(guī)模將達(dá)164.8億美元。

相關(guān)報(bào)告：智研咨詢發(fā)布的《中國刻蝕機(jī)行業(yè)市場供需態(tài)勢及投資潛力研判報(bào)告》

三、刻蝕機(jī)行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈

刻蝕機(jī)行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上游主要包括預(yù)真空室、刻蝕腔體、供氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)等半導(dǎo)體材料和零部件；行業(yè)中游為刻蝕機(jī)制造與系統(tǒng)集成；行業(yè)下游應(yīng)用于微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）、先進(jìn)封裝及納米技術(shù)等半導(dǎo)體、光學(xué)和電子工業(yè)領(lǐng)域。

四、刻蝕機(jī)行業(yè)發(fā)展環(huán)境-相關(guān)政策

刻蝕機(jī)作為半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備，其技術(shù)水平直接關(guān)系到半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，我國政府高度重視刻蝕機(jī)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，近年來相繼出臺了一系列政策支持。部分政策具體如下：

五、刻蝕機(jī)行業(yè)壁壘

刻蝕機(jī)作為半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備之一，其行業(yè)壁壘極高，主要體現(xiàn)在技術(shù)、資金、客戶認(rèn)可度等多個(gè)層面。具體如下：

六、刻蝕機(jī)行業(yè)競爭格局

1、主要企業(yè)

刻蝕機(jī)行業(yè)競爭格局呈現(xiàn)出高度集中且競爭激烈的態(tài)勢。在全球刻蝕機(jī)市場，LamResearch、TEL、AMAT三家國際企業(yè)憑借先進(jìn)的技術(shù)、豐富的產(chǎn)品線占據(jù)主導(dǎo)地位。國內(nèi)刻蝕機(jī)企業(yè)主要有北方華創(chuàng)、中微公司、中國電科、屹唐半導(dǎo)體、創(chuàng)世威納科技、金盛微納科技、芯源科創(chuàng)、華林科納等，業(yè)務(wù)前三大企業(yè)為中微公司、北方華創(chuàng)、屹唐半導(dǎo)體。它們憑借自主研發(fā)和創(chuàng)新能力，逐漸在刻蝕機(jī)領(lǐng)域嶄露頭角，成為國內(nèi)刻蝕機(jī)行業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè)。

2、代表企業(yè)

1）、北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司

北方華創(chuàng)專注于半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和技術(shù)服務(wù)，主要產(chǎn)品為電子工藝裝備和電子元器件，電子工藝裝備包括半導(dǎo)體裝備、真空及新能源裝備。電子元器件包括電阻、電容、晶體器件、模塊電源、微波組件等。

在半導(dǎo)體裝備業(yè)務(wù)板塊，北方華創(chuàng)的主要產(chǎn)品包括刻蝕、薄膜沉積、熱處理、濕法、離子注入等核心工藝裝備，廣泛應(yīng)用于集成電路、功率半導(dǎo)體、三維集成和先進(jìn)封裝、化合物半導(dǎo)體、新型顯示等制造領(lǐng)域。北方華創(chuàng)在刻蝕設(shè)備領(lǐng)域，已形成了ICP、CCP、Bevel刻蝕設(shè)備、高選擇性刻蝕設(shè)備和干法去膠設(shè)備的全系列產(chǎn)品布局。

據(jù)企業(yè)公告數(shù)據(jù)顯示，2025年前三季度，北方華創(chuàng)實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入273.01億元，歸屬于上市公司股東的凈利潤51.30億元。

2）、中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

中微公司主要從事高端半導(dǎo)體設(shè)備及泛半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，通過向下游集成電路、LED外延片、先進(jìn)封裝、MEMS等半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造，主營產(chǎn)品等離子體刻蝕設(shè)備和薄膜設(shè)備作為光刻機(jī)之外的核心微觀加工設(shè)備，其制程步驟復(fù)雜度與工藝開發(fā)難度均在業(yè)內(nèi)處于突出地位。中微公司已有的刻蝕產(chǎn)品已經(jīng)對28納米以上的絕大部分CCP刻蝕應(yīng)用和28納米及以下的大部分CCP刻蝕應(yīng)用形成較為全面的覆蓋。針對28納米及以下的邏輯器件生產(chǎn)中廣泛采用的一體化大馬士革刻蝕工藝，公司開發(fā)的可調(diào)節(jié)電極間距的CCP刻蝕機(jī)PrimoSD-RIE已進(jìn)入國內(nèi)領(lǐng)先的邏輯芯片制造客戶端，初步電性驗(yàn)證已經(jīng)通過，正在進(jìn)行更多的器件功能測試。PrimoSD-RIE也已經(jīng)進(jìn)入28納米以下的研發(fā)線，就多項(xiàng)關(guān)鍵刻蝕工藝開展現(xiàn)場研發(fā)工作。

據(jù)企業(yè)公告數(shù)據(jù)顯示，2024年，中微公司生產(chǎn)刻蝕設(shè)備1414腔，銷量908腔，刻蝕設(shè)備營業(yè)收入72.77億元；2025年前三季度中微公司刻蝕設(shè)備實(shí)現(xiàn)銷售收入61.01億元。

七、刻蝕機(jī)行業(yè)發(fā)展趨勢

刻蝕技術(shù)作為半導(dǎo)體制造的核心工藝，承擔(dān)著將光刻膠上的圖形精確轉(zhuǎn)移到晶圓表面薄膜的關(guān)鍵任務(wù)。隨著集成電路線寬的持續(xù)減小和3D集成電路的發(fā)展，刻蝕機(jī)已躍居集成電路采購額最大的設(shè)備類型。在國家政策的支持下，中國刻蝕機(jī)產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)爆發(fā)式增長，展現(xiàn)出強(qiáng)勁的發(fā)展勢頭。中國刻蝕機(jī)產(chǎn)業(yè)正呈現(xiàn)出多元化、差異化的發(fā)展態(tài)勢，在各細(xì)分領(lǐng)域都取得了顯著進(jìn)展?；谌虬雽?dǎo)體技術(shù)發(fā)展趨勢和各廠商的戰(zhàn)略布局，刻蝕機(jī)未來將向平臺化布局、原子級制造兩個(gè)核心方向演進(jìn)。未來，全球刻蝕機(jī)市場的競爭格局將持續(xù)演變，中國企業(yè)將扮演越來越重要的角色。

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢（rainbowgiftswholesale.com）發(fā)布的《中國刻蝕機(jī)行業(yè)市場供需態(tài)勢及投資潛力研判報(bào)告》。智研咨詢是中國領(lǐng)先產(chǎn)業(yè)咨詢機(jī)構(gòu)，提供深度產(chǎn)業(yè)研究報(bào)告、商業(yè)計(jì)劃書、可行性研究報(bào)告及定制服務(wù)等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務(wù)。您可以關(guān)注【智研咨詢】公眾號，每天及時(shí)掌握更多行業(yè)動態(tài)。