按照應用領域不同,電子濺射靶材可以分為半導體靶材、平面靶材、鍍膜玻璃靶材、太陽能光伏靶材等,不同應用領域?qū)饘俨牧系倪x擇和性能要求存在一定的差異,其中半導體集成電路用的濺射靶材技術要求最高,最苛刻。
靶材的主要種類與用途
靶材種類 | 主要用途 | 主要品種 | 性能要求 |
半導體 | 制備集成電路核心材料 | W、鎢鈦(Wti)、Ti、Ta、Al合金、Cu等,純度在4N或5N以上 | 技術要求最高、超高純度金屬、高精度尺寸、高集成度 |
平面顯示 | 濺射技術保證生產(chǎn)薄膜均勻性,提高生產(chǎn)率降低成本 | 鈮靶、硅靶、Cr靶、鉬靶、MoNb、Al靶、鋁合金靶、銅靶、銅合金 | 技術要求高、高純度材料、材料面積大、均勻性程度高 |
裝飾 | 用于產(chǎn)品表面鍍膜,起美化耐磨耐腐蝕的效果 | 鉻靶、鈦靶、鋯(Zr)、鎳、鎢、鈦鋁、CrSi、CrTi、CrAlZr、不銹鋼靶 | 技術要求一般,主要用于裝飾、節(jié)能等 |
工具 | 工具、模具表面強化,提高壽命與被制造零件質(zhì)量 | TiAl靶、鉻鋁靶、Cr靶、Ti靶、TiN、TiC、Al203等 | 性能要求較高、使用壽命延長 |
太陽能光伏 | 濺射薄膜技術用于第四代薄膜太陽能電池的制作 | 氧化鋅鋁靶、氧化鋅靶、鋅鋁靶、鉬靶、硫化鎘(CdS)靶、銅銦鎵硒等 | 技術要求高、應用范圍大 |
電子器件 | 用于薄膜電阻、薄膜電容 | NiCr靶、鎳鉻硅靶、鉻硅靶、鉭(Ta)靶、鎳鉻鋁靶等 | 要求電子器件尺寸小、穩(wěn)定性好、電阻溫度系數(shù)小 |
信息存儲 | 用于制作磁儲存器 | Cr基、鈷(Co)基、鈷鐵基、Ni基等合金 | 高儲存密度、高傳輸速度 |
數(shù)據(jù)來源:公開資料整理
相關報告:智研咨詢發(fā)布的《2017-2023年中國高純?yōu)R射靶材市場調(diào)查研究及投資機會分析報告》
濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈主要包括金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應用等環(huán)節(jié),其中,靶材制造和濺射鍍膜環(huán)節(jié)是整個濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈中的關鍵環(huán)節(jié)。高純?yōu)R射靶材制造環(huán)節(jié)技術門檻高、設備投資大,具有規(guī)?;a(chǎn)能力的企業(yè)數(shù)量相對較少,主要分布在美國、日本等國家和地區(qū),其中,部分企業(yè)同時開展金屬提純業(yè)務,將產(chǎn)業(yè)鏈延伸到上游領域;部分企業(yè)只擁有濺射靶材生產(chǎn)能力,高純度金屬需要上游企業(yè)供應。尤其是半導體用濺射靶材領域,是一個被由美國和日本的少數(shù)公司(日礦金屬、霍尼韋爾、東曹、普萊克斯)等跨國公司壟斷的行業(yè)。
由于下游產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展,濺射靶材的市場需求量也在快速提高,尤其是制作工藝更高的高純?yōu)R射靶材(純度:99.9%-99.999%),更是供不應求,呈現(xiàn)高速增長的勢頭。2020年全球濺射靶材的總市場規(guī)模將超過160億美元,而高純?yōu)R射靶材市場規(guī)模年復合增長率可達到13%。高純?yōu)R射靶材主要對應平板顯示、半導體、記錄媒體與太陽能電池四大領域。
全球高純?yōu)R射靶材市場規(guī)模
數(shù)據(jù)來源:公開資料整理
在半導體領域,根據(jù)數(shù)據(jù),2015年全球市場規(guī)模為13億美元(其中晶圓制造領域6.3億美元,封測領域5.5億美元),占全球高純靶材市場的12%。受益于近年來中國集成電路制造和封測產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,中國大陸半導體靶材市場規(guī)模呈現(xiàn)快速增長,2015年市場規(guī)模為11.5億元。
2012-2017年全球半導體高純靶材市場規(guī)模(億美元)
數(shù)據(jù)來源:公開資料整理
2011-2016年中國半導體靶材市場規(guī)模
數(shù)據(jù)來源:公開資料整理
由于高純?yōu)R射靶材對材料的純度、穩(wěn)定性要求極高,因此屬于技術密集型產(chǎn)業(yè),對供應商的技術能力要求苛刻,目前主要被日本和美國企業(yè)所壟斷。



