摘要:中國LED碳化硅載盤行業(yè)正處于技術(shù)迭代與市場擴張的關(guān)鍵階段,呈現(xiàn)出國產(chǎn)化突破與產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同加速的雙重特征。2024年,中國LED碳化硅載盤行業(yè)市場規(guī)模為6.77億元,同比增長16.52%。技術(shù)方面,國內(nèi)企業(yè)已實現(xiàn)從4英寸向8英寸載盤的規(guī)?;缭?。浙江六方半導體通過CVD碳化硅涂層技術(shù),將載盤熱導率提升至150 W/m·K以上,滿足Mini/Micro LED外延片生長需求;湖南德智新材則憑借無壓燒結(jié)工藝,使載盤致密度達98%,抗熱震性能顯著優(yōu)于傳統(tǒng)材料。
一、定義及分類
LED碳化硅載盤是一種專為LED生產(chǎn)設(shè)計的高性能陶瓷部件,又稱碳化硅托盤或SIC托盤。在LED制造過程中,碳化硅載盤用于承載和保護晶圓或芯片,確保半導體工藝的高效和穩(wěn)定性,同時提升LED產(chǎn)品的性能和壽命。按生產(chǎn)工藝分類,LED碳化硅載盤可以分為
二、行業(yè)政策
LED碳化硅載盤作為第三代半導體產(chǎn)業(yè)鏈的核心部件,其發(fā)展深受國家及地方政策驅(qū)動。近年來,中國從戰(zhàn)略高度布局碳化硅產(chǎn)業(yè),通過多維政策工具推動技術(shù)突破與產(chǎn)業(yè)升級,為LED碳化硅載盤行業(yè)構(gòu)建了系統(tǒng)性支持框架。2024年1月,國家發(fā)改委等六部門印發(fā)《重點用能產(chǎn)品設(shè)備能效先進水平、節(jié)能水平和準入水平(2024年版)》,明確了照明器具等6大類43種用能產(chǎn)品設(shè)備能效要求,其中涉及LED平板燈、LED筒燈、非定向自鎮(zhèn)流LED燈、道路和隧道照明用LED燈具等4項照明器具產(chǎn)品,相較于2022年版本新增了LED平板燈,且對LED筒燈和道路和隧道照明用LED燈具等2項產(chǎn)品能效水平的要求高于現(xiàn)行國家標準。該政策通過設(shè)定更高的能效標準,推動了行業(yè)向更高效節(jié)能的方向發(fā)展。新增的LED平板燈以及對LED筒燈和道路照明用LED燈具等產(chǎn)品能效要求的提升,將促使碳化硅載盤制造商加大研發(fā)投入,優(yōu)化產(chǎn)品性能,滿足更高標準的市場需求。
三、發(fā)展歷程
中國LED碳化硅載盤行業(yè)發(fā)展主要經(jīng)歷了三個階段。1907年至1960年的萌芽期,1907年,Henry Joseph Round在研究碳化硅時意外發(fā)現(xiàn)了電致發(fā)光現(xiàn)象,是LED技術(shù)的早期科學基礎(chǔ);1962年,Nick Holonyak,Jr.發(fā)明了第一個可見光LED,是基于鎵砷化物(GaAs)的二極管。這一時期是對半導體材料和發(fā)光原理的基礎(chǔ)科學研究,LED技術(shù)尚未商業(yè)化,主要在實驗室環(huán)境中進行研究。早期的發(fā)現(xiàn)為后來的LED技術(shù)奠定了科學基礎(chǔ),但距離實際應用還有很長的路要走。
1960年至1999年的啟動期,1980年,碳化硅作為具有高熱導率和高擊穿電場的材料,開始被研究作為LED的潛在襯底材料;1993年,日本科學家中村修二等人成功開發(fā)了基于氮化鎵(GaN)的藍光LED,這一發(fā)明極大地擴展了LED的應用范圍,為白光LED的制造奠定了基礎(chǔ);1990年代末,SiC作為襯底材料的研究取得進展,因其優(yōu)異的熱導性和化學穩(wěn)定性,開始被用于生長GaN基LED。這一時期,LED技術(shù)開始實現(xiàn)商業(yè)化,主要應用于電子產(chǎn)品和家用電器中的指示燈和數(shù)字顯示,碳化硅作為潛在的高溫和高功率應用材料開始受到關(guān)注。藍光LED的發(fā)明使得白光LED成為可能,應用領(lǐng)域的拓展帶動碳化硅材料在LED領(lǐng)域進一步發(fā)展。
2000年至今的高速發(fā)展期,2000年,隨著LED芯片技術(shù)的不斷進步,高亮度LED開始廣泛應用于汽車照明、手機背光等領(lǐng)域,SiC襯底上的GaN基LED因其優(yōu)異的光電性能和可靠性,開始被廣泛研究和應用;2010年,隨著“LED照明普及計劃”的推進,大功率LED照明產(chǎn)品開始迅速普及,SiC材料在LED領(lǐng)域的應用不斷擴展,特別是在高功率LED芯片的生產(chǎn)中,因其高導熱性而受到青睞;2020年,SiC廣泛用于Mini LED和Micro LED的生產(chǎn),其具有高導熱性和化學穩(wěn)定性,對于實現(xiàn)更小尺寸、更高密度的LED陣列至關(guān)重要。這一時期,LED技術(shù)進一步發(fā)展,新材料如碳化硅的使用提高了LED的性能和可靠性,大功率和高效率的LED產(chǎn)品成為市場主流,碳化硅材料的應用也更加廣泛。
四、行業(yè)壁壘
1、技術(shù)壁壘
碳化硅載盤的生產(chǎn)涉及高純度原料制備、晶體生長、精密加工等核心技術(shù)環(huán)節(jié),形成極高的技術(shù)門檻。碳化硅晶體需在2000℃以上高溫密閉環(huán)境中生長,且需精確控制硅碳比、溫度梯度、氣流氣壓等參數(shù),稍有偏差即導致晶體結(jié)構(gòu)缺陷。全球僅少數(shù)企業(yè)掌握穩(wěn)定量產(chǎn)6英寸以上襯底的技術(shù),而國內(nèi)企業(yè)良率普遍偏低。此外,碳化硅的硬度接近金剛石,切割、研磨、拋光等加工環(huán)節(jié)易產(chǎn)生崩邊,需開發(fā)激光加工、離子束加工等特殊技術(shù),進一步推高技術(shù)門檻。
2、資金與規(guī)模壁壘
碳化硅載盤生產(chǎn)線建設(shè)成本高昂,涵蓋高端設(shè)備購置、技術(shù)研發(fā)、人才引進等。例如,8英寸碳化硅晶圓線建設(shè)成本達數(shù)十億元,且需持續(xù)投入進行技術(shù)迭代。同時,下游客戶對產(chǎn)品一致性、穩(wěn)定性要求極高,企業(yè)需達到規(guī)?;a(chǎn)才能實現(xiàn)成本優(yōu)化。目前,全球碳化硅襯底市場由美國Wolfspeed等巨頭主導,其通過規(guī)?;a(chǎn)降低成本,而國內(nèi)企業(yè)因規(guī)模較小,在成本競爭中處于劣勢。
3、客戶認證與市場壁壘
LED制造企業(yè)對碳化硅載盤供應商的認證周期長達1-2年,涉及產(chǎn)品質(zhì)量、供貨穩(wěn)定性、售后服務等多維度考核。一旦形成合作關(guān)系,客戶黏性較高,新進入者難以快速切入市場。此外,國際巨頭通過長期合作綁定核心客戶,國內(nèi)企業(yè)需通過性價比優(yōu)勢逐步滲透,但面臨品牌認知度低、市場信任度不足等問題。
五、產(chǎn)業(yè)鏈
1、行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈分析
LED碳化硅載盤行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上游主要包括原材料和生產(chǎn)設(shè)備,其中原材料包括碳化硅粉末、石墨基材等,生產(chǎn)設(shè)備包括晶體生長爐、精密加工設(shè)備(激光切割機、離子束拋光機等)等。產(chǎn)業(yè)鏈中游為LED碳化硅載盤生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)。產(chǎn)業(yè)鏈下游為LED應用市場。LED碳化硅載盤行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈如下圖所示:


















2、行業(yè)領(lǐng)先企業(yè)分析
(1)浙江六方半導體科技有限公司
浙江六方半導體科技有限公司成立于2018年,總部位于浙江紹興,是一家專注于碳化硅涂層技術(shù)及碳化硅制品研發(fā)、生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè)。公司核心團隊由海歸博士與行業(yè)資深專家組成,技術(shù)實力雄厚,致力于推動碳化硅材料在半導體、LED、光伏等領(lǐng)域的應用。公司自主研發(fā)的化學氣相沉積(CVD)碳化硅涂層技術(shù),可實現(xiàn)載盤表面納米級均勻涂層,顯著提升載盤的熱穩(wěn)定性與耐腐蝕性。該技術(shù)已應用于8英寸碳化硅載盤,滿足LED外延片生長的高精度需求。公司通過摻雜改性技術(shù),開發(fā)出低熱膨脹系數(shù)(<3.5×10?? K?1)、高導熱率(>150 W/m·K)的碳化硅復合材料,有效降低LED芯片制造過程中的熱應力。
(2)湖南德智新材料股份有限公司
湖南德智新材料股份有限公司成立于2017年,總部位于湖南株洲,是一家專業(yè)從事碳化硅陶瓷材料及制品研發(fā)、生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè)。公司依托中南大學粉末冶金研究院的技術(shù)支持,專注于半導體、LED、光伏等領(lǐng)域的高端碳化硅部件國產(chǎn)化替代。公司采用無壓燒結(jié)工藝制備高致密度碳化硅載盤,相對密度達98%以上,顯著提升材料的抗熱震性與機械強度。該技術(shù)突破傳統(tǒng)熱壓燒結(jié)的尺寸限制,可生產(chǎn)直徑達450mm的大型載盤。公司通過等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)在載盤表面沉積耐腐蝕涂層,有效抵御MOCVD工藝中的鹵素氣體腐蝕,延長使用壽命至2000小時以上。
六、行業(yè)現(xiàn)狀
中國LED碳化硅載盤行業(yè)正處于技術(shù)迭代與市場擴張的關(guān)鍵階段,呈現(xiàn)出國產(chǎn)化突破與產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同加速的雙重特征。2024年,中國LED碳化硅載盤行業(yè)市場規(guī)模為6.77億元,同比增長16.52%。技術(shù)方面,國內(nèi)企業(yè)已實現(xiàn)從4英寸向8英寸載盤的規(guī)模化跨越。浙江六方半導體通過CVD碳化硅涂層技術(shù),將載盤熱導率提升至150 W/m·K以上,滿足Mini/Micro LED外延片生長需求;湖南德智新材則憑借無壓燒結(jié)工藝,使載盤致密度達98%,抗熱震性能顯著優(yōu)于傳統(tǒng)材料。
七、發(fā)展因素
1、機遇
(1)LED技術(shù)迭代驅(qū)動需求升級
LED照明與顯示技術(shù)向Mini/Micro LED升級,對碳化硅載盤提出更高性能要求。Mini LED背光技術(shù)已廣泛應用于高端電視、筆記本電腦,而Micro LED作為下一代顯示技術(shù),其產(chǎn)業(yè)化進程加速,對載盤的熱導率、尺寸精度、表面粗糙度等指標提出更高要求。碳化硅載盤因其高導熱性(熱導率達140 W/m·K)、低熱膨脹系數(shù)(4.0×10?? K?1),成為提升LED芯片良率與壽命的核心耗材。
(2)新能源汽車與光伏市場爆發(fā)
新能源汽車與光伏產(chǎn)業(yè)對碳化硅功率器件的需求激增,間接推動碳化硅載盤市場擴張。碳化硅功率器件在電動汽車電控系統(tǒng)、光伏逆變器中的應用,可提升能效并降低系統(tǒng)成本。例如,特斯拉Model 3采用碳化硅MOSFET后,續(xù)航里程提升5%-10%。隨著全球新能源汽車滲透率突破20%,碳化硅器件需求量預計將以年均35%的速度增長,帶動上游碳化硅載盤產(chǎn)業(yè)鏈同步擴容。
(3)政策支持與產(chǎn)業(yè)環(huán)境
LED碳化硅載盤行業(yè)作為新興產(chǎn)業(yè),受到國家和地方政府的高度重視。政府出臺了一系列涵蓋資金扶持、稅收優(yōu)惠、技術(shù)研發(fā)支持等多方面的政策措施。這些政策為行業(yè)的發(fā)展提供了有力保障,降低了企業(yè)的研發(fā)和生產(chǎn)成本,提高了企業(yè)的創(chuàng)新積極性和市場競爭力。此外,地方政府還通過設(shè)立產(chǎn)業(yè)園區(qū)、搭建產(chǎn)業(yè)平臺等方式,促進產(chǎn)業(yè)集聚和協(xié)同發(fā)展。
2、挑戰(zhàn)
(1)產(chǎn)能瓶頸
目前,全球碳化硅載盤的產(chǎn)能有限,難以滿足日益增長的市場需求。碳化硅晶體生長速度慢,且生長過程中對工藝要求極高,導致產(chǎn)能擴張困難。此外,碳化硅代工廠的工藝和產(chǎn)線良率較低,進一步限制了產(chǎn)能的提升。在這種情況下,國際大廠紛紛與國外碳化硅供應商進行產(chǎn)能綁定,使得中國企業(yè)能夠獲取的襯底和芯片數(shù)量受限。這不僅影響了國內(nèi)LED碳化硅載盤企業(yè)的生產(chǎn)規(guī)模,也制約了行業(yè)的快速發(fā)展。
(2)市場競爭激烈
LED碳化硅載盤市場競爭激烈,國際巨頭在技術(shù)和市場份額方面占據(jù)優(yōu)勢。例如,意法半導體、英飛凌、羅姆、安森美等國際公司幾乎壟斷了主驅(qū)場景的碳化硅器件市場。國內(nèi)企業(yè)在技術(shù)、品牌和客戶資源等方面與國際巨頭存在較大差距,難以在高端市場與之競爭。此外,隨著行業(yè)的發(fā)展,越來越多的企業(yè)進入該領(lǐng)域,市場競爭進一步加劇。這使得國內(nèi)企業(yè)在市場份額的爭奪中面臨更大的壓力,需要不斷提升自身競爭力,以在激烈的市場競爭中占據(jù)一席之地。
(3)國際貿(mào)易環(huán)境復雜
近年來,國際貿(mào)易環(huán)境復雜多變,對LED碳化硅載盤行業(yè)的發(fā)展帶來了一定的挑戰(zhàn)。一方面,國際貿(mào)易摩擦不斷升級,一些國家對中國企業(yè)采取貿(mào)易限制措施,影響了中國碳化硅載盤產(chǎn)品的出口。另一方面,全球高科技領(lǐng)域的“脫鉤”趨勢明顯,中國企業(yè)在獲取先進技術(shù)和設(shè)備方面受到限制。這不僅增加了企業(yè)的運營成本,也延緩了技術(shù)進步的速度。在這種情況下,中國LED碳化硅載盤企業(yè)需要加強自主創(chuàng)新,提高產(chǎn)品附加值,以應對國際貿(mào)易環(huán)境帶來的不確定性。
八、競爭格局
整體來看,LED碳化硅載盤行業(yè)的競爭格局呈現(xiàn)出三足鼎立、集中度高、其他企業(yè)緊隨其后的競爭態(tài)勢。由于中國LED碳化硅載盤產(chǎn)業(yè)發(fā)展歷程較短,頭部企業(yè)憑借技術(shù)、資金及資源優(yōu)勢搶先占據(jù)市場。然而,隨著技術(shù)進步和市場需求的增長,越來越多的企業(yè)將從測試階段過渡到量產(chǎn)階段,市場競爭將逐漸多元化。短期內(nèi),頭部企業(yè)的地位將進一步鞏固,但從長遠來看,隨著LED領(lǐng)域?qū)μ蓟杵骷枨蟮某掷m(xù)增長,市場競爭將愈發(fā)激烈。
九、發(fā)展趨勢
1、技術(shù)路線向大尺寸與高性能演進
碳化硅載盤技術(shù)向8英寸及以上尺寸升級,以匹配LED芯片制造的降本需求。8英寸載盤可提升單片芯片產(chǎn)出量40%-50%,顯著降低單位成本。同時,下游客戶對載盤的熱穩(wěn)定性、耐腐蝕性、表面平整度要求提升,推動企業(yè)開發(fā)CVD碳化硅、納米復合涂層等高性能材料。例如,天岳先進已研發(fā)出熱導率達180 W/m·K的納米碳化硅載盤,適用于高溫MOCVD工藝。
2、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同與垂直整合加速
碳化硅載盤企業(yè)通過與LED外延片廠商、設(shè)備廠商深度合作,構(gòu)建“材料-設(shè)備-工藝”一體化生態(tài)。同時,部分企業(yè)向上游延伸,布局碳化硅粉體合成、晶體生長等環(huán)節(jié),以保障原料供應穩(wěn)定性。產(chǎn)業(yè)鏈整合將降低綜合成本,提升國產(chǎn)載盤競爭力。
3、行業(yè)競爭加劇
短期內(nèi),頭部企業(yè)的地位將會得到進一步鞏固。然而,從長遠角度看,隨著LED領(lǐng)域?qū)μ蓟杵骷枨蟮某掷m(xù)增長,越來越多的企業(yè)將把研發(fā)重心轉(zhuǎn)向碳化硅載盤的開發(fā),市場競爭將愈發(fā)激烈。在這種情況下,企業(yè)需要不斷提升自身的技術(shù)水平和創(chuàng)新能力,以在激烈的市場競爭中占據(jù)一席之地。
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