2025年中國(guó)等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)壁壘、市場(chǎng)政策、產(chǎn)業(yè)鏈圖譜、市場(chǎng)規(guī)模、競(jìng)爭(zhēng)格局及發(fā)展趨勢(shì)研判：MKS、AE等國(guó)際巨頭占據(jù)主導(dǎo)地位圖]

內(nèi)容概要：我國(guó)等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)起步較晚，但近年來(lái)在國(guó)家政策的加持下發(fā)展迅速，據(jù)統(tǒng)計(jì)，2024年我國(guó)等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模達(dá)123.3億元，同比增長(zhǎng)9.50%，未來(lái)，隨著科技的持續(xù)進(jìn)步和市場(chǎng)需求的日益增長(zhǎng)，我國(guó)等離子體射頻電源系統(tǒng)市場(chǎng)有望迎來(lái)更廣闊的發(fā)展空間。

上市企業(yè)：英杰電氣（300820）、北方華創(chuàng)（002371）

相關(guān)企業(yè)：MKS Instruments, Inc.、Advanced Energy Industries, Inc.、深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)股份有限公司、江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司、深圳市瀚強(qiáng)科技股份有限公司、深圳市廣能達(dá)半導(dǎo)體科技有限公司

關(guān)鍵詞：等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)壁壘、等離子體射頻電源系統(tǒng)市場(chǎng)政策、等離子體射頻電源系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)鏈圖譜、等離子體射頻電源系統(tǒng)市場(chǎng)規(guī)模、等離子體射頻電源系統(tǒng)競(jìng)爭(zhēng)格局、等離子體射頻電源系統(tǒng)發(fā)展趨勢(shì)

一、概述

等離子體射頻電源系統(tǒng)是半導(dǎo)體制造中極其關(guān)鍵的專(zhuān)用電源系統(tǒng)，主要由等離子體射頻電源和匹配器組成。等離子體射頻電源是可以產(chǎn)生正弦波電壓，工作頻率范圍一般處于3KHz至300GHz之間，具有一定功率的工藝電源。其核心作用是通過(guò)產(chǎn)生高頻電場(chǎng)，在晶圓反應(yīng)腔體內(nèi)將特定工藝氣體電離，創(chuàng)造并維持高活性、高能量的等離子體，并利用等離子體的特殊性能實(shí)現(xiàn)薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗去膠、鍵合等復(fù)雜半導(dǎo)體工藝（薄膜沉積、刻蝕與光刻并稱(chēng)為芯片制造三大關(guān)鍵工序）。等離子體射頻電源系統(tǒng)的性能直接影響薄膜沉積、刻蝕等環(huán)節(jié)中等離子體的成分濃度、均勻性和穩(wěn)定性等，對(duì)于薄膜沉積的厚度、密度、應(yīng)力、速率，以及刻蝕的選擇性、方向性、速率、質(zhì)量等至關(guān)重要，進(jìn)而影響晶圓制造工藝的能力、良率和效率，等離子體射頻電源系統(tǒng)在半導(dǎo)體制造核心裝備中占據(jù)著核心位置。

二、行業(yè)壁壘

半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件是半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)更迭和制程演進(jìn)的重要承載，在半導(dǎo)體工藝和芯片結(jié)構(gòu)日趨復(fù)雜的背景下，半導(dǎo)體設(shè)備商對(duì)核心零部件廠商的要求更為嚴(yán)苛，包括對(duì)產(chǎn)品的可靠性、穩(wěn)定性和一致性及核心零部件廠商的研發(fā)能力、技術(shù)實(shí)力。因此，半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件行業(yè)的技術(shù)壁壘很高，等離子體射頻電源系統(tǒng)作為薄膜沉積設(shè)備、刻蝕設(shè)備等半導(dǎo)體設(shè)備的核心零部件，技術(shù)要求極高，此外，由于半導(dǎo)體設(shè)備和產(chǎn)線(xiàn)結(jié)構(gòu)的復(fù)雜性，各設(shè)備的良率、穩(wěn)定性會(huì)對(duì)整個(gè)制造體系產(chǎn)生累積效應(yīng)，設(shè)備零部件的瑕疵或問(wèn)題可能引起巨額的潛在損失，因此半導(dǎo)體設(shè)備商及晶圓廠對(duì)于零部件的驗(yàn)證、驗(yàn)收有嚴(yán)苛的標(biāo)準(zhǔn)和流程，且在設(shè)備定型后，不會(huì)輕易更換機(jī)臺(tái)上所使用的等離子體射頻電源系統(tǒng)，以此滿(mǎn)足半導(dǎo)體“精確復(fù)制”的管理模式，因此，半導(dǎo)體設(shè)備商及晶圓廠往往會(huì)選擇長(zhǎng)期合作的核心零部件供應(yīng)商。

三、市場(chǎng)政策

根據(jù)國(guó)家統(tǒng)計(jì)局發(fā)布的《國(guó)民經(jīng)濟(jì)行業(yè)分類(lèi)》（GB/T4754—2017），等離子體射頻電源系統(tǒng)屬于“半導(dǎo)體器件專(zhuān)用設(shè)備制造”，行業(yè)代碼為“C3562”。我國(guó)高度重視半導(dǎo)體等核心產(chǎn)業(yè)發(fā)展，相繼出臺(tái)《電子信息制造業(yè)2023—2024年穩(wěn)增長(zhǎng)行動(dòng)方案》《河套深港科技創(chuàng)新合作區(qū)深圳園區(qū)發(fā)展規(guī)劃》《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2024年本）》《關(guān)于加快數(shù)字經(jīng)濟(jì)高質(zhì)量發(fā)展的意見(jiàn)》《貫徹實(shí)施〈國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化發(fā)展綱要〉行動(dòng)計(jì)劃（2024—2025年）》《關(guān)于做好2024年享受稅收優(yōu)惠政策的集成電路企業(yè)或項(xiàng)目、軟件企業(yè)清單制定工作有關(guān)要求的通知》《中共中央關(guān)于進(jìn)一步全面深化改革推進(jìn)中國(guó)式現(xiàn)代化的決定》等一系列政策，大力推動(dòng)等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)進(jìn)步。

四、產(chǎn)業(yè)鏈

1、產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)

等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)上游主要包括電容、MOSFET、芯片及模組等電子件供應(yīng)商，功率模塊等電氣件供應(yīng)商以及結(jié)構(gòu)件等原材料供應(yīng)商；行業(yè)中游為等離子體射頻電源系統(tǒng)研發(fā)、制造等環(huán)節(jié)；行業(yè)下游為應(yīng)用市場(chǎng)，涵蓋半導(dǎo)體、光伏、顯示面板等諸多領(lǐng)域。

2、上游

從上游成本結(jié)構(gòu)來(lái)看，目前，包括電容、MOSFET、芯片及模組、功率模塊、結(jié)構(gòu)件在內(nèi)的原材料占比最大，超70%，因此，等離子體射頻電源系統(tǒng)企業(yè)需要與上游供應(yīng)商建立長(zhǎng)期穩(wěn)定的戰(zhàn)略合作關(guān)系，通過(guò)聯(lián)合研發(fā)新材料、優(yōu)化采購(gòu)流程、批量集中采購(gòu)等方式，降低原材料的采購(gòu)成本，同時(shí)，要密切關(guān)注上游產(chǎn)業(yè)鏈的技術(shù)迭代和價(jià)格波動(dòng)，提前布局關(guān)鍵原材料的儲(chǔ)備與替代方案，以增強(qiáng)對(duì)成本的把控能力，從而在激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中保持產(chǎn)品的價(jià)格優(yōu)勢(shì)和利潤(rùn)空間，為企業(yè)的持續(xù)發(fā)展奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

3、下游

從下游需求結(jié)構(gòu)來(lái)看，目前，半導(dǎo)體為我國(guó)等離子體射頻電源系統(tǒng)最大需求市場(chǎng)，占比超50%，半導(dǎo)體設(shè)備處于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的上游環(huán)節(jié)，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基石，是提升我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈韌性的關(guān)鍵，據(jù)SEMI數(shù)據(jù)顯示，2023年我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)366億美元，占全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)整體規(guī)模的34.56%，2024年我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模有望突破450億美元，市場(chǎng)占比有望突破40%，等離子體射頻電源系統(tǒng)作為半導(dǎo)體設(shè)備的電氣類(lèi)核心零部件，隨著半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的持續(xù)繁榮將迎來(lái)更廣闊的發(fā)展空間。

相關(guān)報(bào)告：智研咨詢(xún)發(fā)布的《中國(guó)等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)市場(chǎng)動(dòng)態(tài)分析及未來(lái)趨勢(shì)研判報(bào)告》

五、發(fā)展現(xiàn)狀

隨著半導(dǎo)體、光伏、顯示面板等下游市場(chǎng)的飛速發(fā)展，帶動(dòng)等離子體射頻電源系統(tǒng)市場(chǎng)需求與日俱增，市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)容，據(jù)統(tǒng)計(jì)，2024年全球等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模達(dá)55.0億美元，同比增長(zhǎng)10.22%，未來(lái)，隨著半導(dǎo)體制程的不斷演進(jìn)，薄膜沉積、刻蝕等半導(dǎo)體工藝復(fù)雜度與精細(xì)度不斷提升，對(duì)等離子體射頻電源系統(tǒng)技術(shù)指標(biāo)要求也越來(lái)越高，同時(shí)也形成了新的技術(shù)升級(jí)驅(qū)動(dòng)力。

從國(guó)內(nèi)市場(chǎng)來(lái)看，我國(guó)等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)起步較晚，但近年來(lái)在國(guó)家政策的加持下發(fā)展迅速，據(jù)統(tǒng)計(jì)，2024年我國(guó)等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模達(dá)123.3億元，同比增長(zhǎng)9.50%，未來(lái)，隨著科技的持續(xù)進(jìn)步和市場(chǎng)需求的日益增長(zhǎng)，我國(guó)等離子體射頻電源系統(tǒng)市場(chǎng)有望迎來(lái)更廣闊的發(fā)展空間。

六、競(jìng)爭(zhēng)格局

1、整體格局

等離子體射頻電源系統(tǒng)具有技術(shù)壁壘高、研發(fā)投入大、研發(fā)周期長(zhǎng)、生產(chǎn)的“精確復(fù)制”要求極高的特點(diǎn)，加之我國(guó)等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)起步較晚，因此，等離子體射頻電源系統(tǒng)成為我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備零部件國(guó)產(chǎn)化最難關(guān)卡之一，國(guó)產(chǎn)化率較低。目前，等離子體射頻電源系統(tǒng)由國(guó)際頭部廠商壟斷，極少數(shù)國(guó)產(chǎn)廠商參與等離子體射頻電源系統(tǒng)市場(chǎng)呈現(xiàn)高度集中的競(jìng)爭(zhēng)格局，主要由美國(guó)的MKS、AE等國(guó)際巨頭主導(dǎo)，近年來(lái)，國(guó)內(nèi)企業(yè)也在加速追趕，如深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)股份有限公司是國(guó)內(nèi)極少數(shù)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)半導(dǎo)體級(jí)等離子體射頻電源系統(tǒng)的企業(yè)，其產(chǎn)品能支撐14納米先進(jìn)制程，另外，四川英杰電氣股份有限公司、華丞電子（北方華創(chuàng)子公司）等也是該中游環(huán)節(jié)的參與者。

2、代表國(guó)產(chǎn)企業(yè)分析

（1）四川英杰電氣股份有限公司

四川英杰電氣股份有限公司作為國(guó)內(nèi)綜合性工業(yè)電源研發(fā)及制造領(lǐng)域具有較強(qiáng)實(shí)力和競(jìng)爭(zhēng)力的企業(yè)之一，主要專(zhuān)注于電力電子技術(shù)在工業(yè)各領(lǐng)域的應(yīng)用，從事以功率控制電源、特種電源為代表的工業(yè)電源設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售以及新能源汽車(chē)充電樁/站的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。近年來(lái)，公司加大了在半導(dǎo)體及電子材料領(lǐng)域的投入，重點(diǎn)攻關(guān)半導(dǎo)體刻蝕、薄膜沉積（CVD/PECVD）、離子注入等關(guān)鍵制程電源技術(shù)，同步拓展碳化硅外延、復(fù)合銅箔等新興領(lǐng)域，部分型號(hào)射頻電源已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，覆蓋5nm刻蝕及PECVD等先進(jìn)制程，已經(jīng)申請(qǐng)了數(shù)十項(xiàng)半導(dǎo)體電源相關(guān)專(zhuān)利。2024年英杰電氣營(yíng)業(yè)總收入達(dá)17.80億元，毛利潤(rùn)6.86億元，毛利率為3.85%。

（2）深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)股份有限公司

深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)股份有限公司是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件供應(yīng)商，主要圍繞等離子體工藝打造產(chǎn)品矩陣，自研產(chǎn)品具體包括等離子體射頻電源系統(tǒng)（等離子體射頻電源及匹配器）、等離子體激發(fā)裝置（遠(yuǎn)程等離子體源、射頻離子源）、等離子體直流電源、配件（濾波器、阻抗調(diào)整器等）；引進(jìn)產(chǎn)品主要包括真空獲得和流體控制分別所需的真空泵、質(zhì)量流量計(jì)等核心零部件；同時(shí)還為晶圓廠提供等離子體射頻電源系統(tǒng)原位替換及維修等技術(shù)服務(wù)。

深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)股份有限公司于2013年成立，先后經(jīng)歷了起步探索期（2013-2017年）、快速發(fā)展期（2018-2022年）、持續(xù)創(chuàng)新期（2023-至今）。在各發(fā)展階段，公司發(fā)展引進(jìn)業(yè)務(wù)的同時(shí)，在自研方面以等離子體射頻電源系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)的不斷突破為核心，圍繞等離子體工藝核心零部件整體解決方案及產(chǎn)業(yè)布局實(shí)現(xiàn)階梯式的發(fā)展。

七、發(fā)展趨勢(shì)

目前我國(guó)等離子體射頻電源系統(tǒng)在半導(dǎo)體領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)化率仍然很低，在復(fù)雜的國(guó)際地緣政治形勢(shì)下，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商對(duì)于零部件自主可控的要求愈發(fā)緊迫，這使得他們對(duì)國(guó)產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)導(dǎo)入意愿空前強(qiáng)烈，同時(shí)，以深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)股份有限公司為代表的國(guó)產(chǎn)供應(yīng)商已經(jīng)取得了技術(shù)沉淀和產(chǎn)品迭代的成果，并且逐步通過(guò)了半導(dǎo)體設(shè)備商和晶圓廠的產(chǎn)品與技術(shù)驗(yàn)證，未來(lái)伴隨中國(guó)大陸半導(dǎo)體市場(chǎng)的快速發(fā)展以及國(guó)產(chǎn)替代的整體趨勢(shì)，國(guó)產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)的市場(chǎng)份額會(huì)持續(xù)擴(kuò)大。

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢(xún)（rainbowgiftswholesale.com）發(fā)布的《中國(guó)等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)市場(chǎng)動(dòng)態(tài)分析及未來(lái)趨勢(shì)研判報(bào)告》。智研咨詢(xún)是中國(guó)領(lǐng)先產(chǎn)業(yè)咨詢(xún)機(jī)構(gòu)，提供深度產(chǎn)業(yè)研究報(bào)告、商業(yè)計(jì)劃書(shū)、可行性研究報(bào)告及定制服務(wù)等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢(xún)服務(wù)。您可以關(guān)注【智研咨詢(xún)】公眾號(hào)，每天及時(shí)掌握更多行業(yè)動(dòng)態(tài)。