研判2025！中國等離子表面處理設備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈、市場規(guī)模及重點企業(yè)分析：行業(yè)需求旺盛，驅(qū)動制造業(yè)向高精度、綠色化升級[圖]

內(nèi)容概況：等離子表面處理設備廣泛應用于電子、半導體、汽車、醫(yī)療、航空航天等多個行業(yè)。隨著這些行業(yè)的快速發(fā)展，對等離子表面處理設備的需求也在不斷增加。2024年，中國等離子表面處理設備行業(yè)市場規(guī)模為918億元，同比增長30.58%。在電子和半導體領(lǐng)域，等離子技術(shù)用于芯片制造中的清洗、刻蝕等關(guān)鍵工藝，隨著國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對等離子表面處理設備的需求不斷增加。在汽車制造領(lǐng)域，等離子表面處理技術(shù)用于零部件的表面清潔和活化，以提高零部件的附著力和耐腐蝕性。

相關(guān)上市企業(yè)：中微公司（688012）

相關(guān)企業(yè)：瀚海聚能科技有限公司、成都旭光電子股份有限公司、蘇州英杰電氣有限公司、金宏氣體股份有限公司、山東伯仲真空科技股份有限公司、中控技術(shù)股份有限公司、北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司、中微半導體設備（上海）股份有限公司、深圳市東信高科自動化設備有限公司、杭州科脈等離子設備有限公司

關(guān)鍵詞：等離子表面處理設備、等離子表面處理設備市場規(guī)模、等離子表面處理設備行業(yè)現(xiàn)狀、等離子表面處理設備發(fā)展趨勢

一、行業(yè)概述

等離子表面處理設備是一種利用等離子體（物質(zhì)第四態(tài)）對材料表面進行物理化學改性的工業(yè)設備。其核心原理是通過高頻電場、微波或射頻能量電離工藝氣體（如氧氣、氬氣、氮氣等），形成包含高能電子、離子、自由基和活性粒子的等離子體。這些活性粒子與材料表面發(fā)生反應，實現(xiàn)清潔、活化、蝕刻或涂層等功能，從而提升材料表面的附著力、親水性、耐腐蝕性、生物相容性等性能。該技術(shù)廣泛應用于印刷包裝、電子制造、汽車工業(yè)、醫(yī)療生物、塑料橡膠、金屬涂裝等領(lǐng)域，可替代傳統(tǒng)打磨、化學處理等工藝，具有環(huán)保、高效、低成本的優(yōu)勢。按工作原理分類，等離子表面處理設備主要分為常壓等離子設備、真空等離子設備、微波等離子設備、射頻等離子設備等類別。

二、行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈

等離子表面處理設備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上游主要包括等離子體發(fā)生器、射頻電源模塊、真空電容器、氣體供應系統(tǒng)、真空泵、噴槍、控制系統(tǒng)及傳感器等核心組件。產(chǎn)業(yè)鏈中游為等離子表面處理設備生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)。產(chǎn)業(yè)鏈下游主要應用于半導體、汽車工業(yè)、醫(yī)療生物、新能源、印刷包裝等領(lǐng)域。

隨著國內(nèi)科技產(chǎn)業(yè)的不斷升級，半導體、電子等高端制造業(yè)對等離子體射頻電源系統(tǒng)的需求持續(xù)攀升。在半導體制造領(lǐng)域，等離子體技術(shù)在光刻、刻蝕等關(guān)鍵工藝中發(fā)揮著不可或缺的作用，而射頻電源系統(tǒng)作為核心部件，其性能直接影響工藝的精度與效率。隨著國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)的加速擴張，對高性能射頻電源系統(tǒng)的需求也日益旺盛，有力地推動了市場規(guī)模的增長。2024年，中國等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)市場規(guī)模約為123.3億元，同比增長9.50%。等離子體射頻電源系統(tǒng)是等離子表面處理設備的關(guān)鍵組成部分，其性能直接決定了設備的處理效果和效率。隨著技術(shù)的不斷進步，等離子體射頻電源系統(tǒng)的功率、穩(wěn)定性、可靠性等指標不斷提升，為等離子表面處理設備的廣泛應用提供了有力支撐。

隨著5G通信、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù)的迅猛發(fā)展，市場對集成電路的需求呈現(xiàn)出爆發(fā)式增長態(tài)勢。5G網(wǎng)絡的廣泛部署促使智能手機、基站設備等對高性能集成電路的需求大幅增加；人工智能技術(shù)在各個領(lǐng)域的應用落地，如智能安防、自動駕駛等，進一步推動了對專用集成電路芯片的需求；物聯(lián)網(wǎng)設備的普及，使得傳感器、控制器等集成電路的市場需求持續(xù)攀升。這些新興技術(shù)的快速發(fā)展，為集成電路產(chǎn)業(yè)提供了廣闊的市場空間，有力地拉動了產(chǎn)量的增長。2025年1-8月，中國集成電路產(chǎn)量為3429.1億塊，同比增長20.53%。在芯片制造過程中，等離子表面處理設備在清洗、刻蝕、薄膜沉積等關(guān)鍵工藝中發(fā)揮著重要作用。等離子體技術(shù)能夠有效去除表面雜質(zhì)、改善表面附著力、提高材料的化學穩(wěn)定性，從而提升芯片的性能和可靠性。隨著集成電路產(chǎn)量的大幅增長，對等離子表面處理設備的需求也相應增加。

相關(guān)報告：智研咨詢發(fā)布的《中國等離子表面處理設備行業(yè)市場研究分析及投資前景研判報告》

四、市場規(guī)模

等離子表面處理設備廣泛應用于電子、半導體、汽車、醫(yī)療、航空航天等多個行業(yè)。隨著這些行業(yè)的快速發(fā)展，對等離子表面處理設備的需求也在不斷增加。2024年，中國等離子表面處理設備行業(yè)市場規(guī)模為918億元，同比增長30.58%。在電子和半導體領(lǐng)域，等離子技術(shù)用于芯片制造中的清洗、刻蝕等關(guān)鍵工藝，隨著國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對等離子表面處理設備的需求不斷增加。在汽車制造領(lǐng)域，等離子表面處理技術(shù)用于零部件的表面清潔和活化，以提高零部件的附著力和耐腐蝕性。

五、重點企業(yè)經(jīng)營情況

中國等離子表面處理設備行業(yè)呈現(xiàn)“國際引領(lǐng)、本土崛起”的雙層競爭格局。國際巨頭如Nordson憑借高精度技術(shù)壟斷半導體高端市場，而本土企業(yè)通過差異化策略快速滲透中低端領(lǐng)域。中微半導體依托半導體產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢，在蝕刻設備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)進口替代，其“等離子體源優(yōu)化技術(shù)”提升設備穩(wěn)定性，客戶覆蓋中芯國際、長江存儲等頭部晶圓廠。寒武紀技術(shù)蘇州以低溫寬幅處理技術(shù)突破精密器件市場，獲ISO 13485認證，專利超67項，構(gòu)建“快速交付+本地支持”體系。上海茂虹則深耕定制化設備，處理速度達100m/min，應用覆蓋電子、汽車、醫(yī)療多領(lǐng)域，辦事處遍布全國。

寒武紀技術(shù)(蘇州)有限公司成立于2022年，聚焦低溫等離子技術(shù)研發(fā)，突破45℃以下低溫處理與寬幅處理效率提升3倍的技術(shù)瓶頸，適配半導體晶圓、柔性屏等精密器件。其產(chǎn)品線涵蓋大氣/真空等離子清洗機、旋轉(zhuǎn)式處理系統(tǒng)，支持實驗室到工業(yè)化定制，獲ISO 13485醫(yī)療認證，累計專利超67項。典型案例包括為中國工程物理研究院定制的等離子清洗機連續(xù)運行超5000小時無故障，以及服務動力電池龍頭企業(yè)、半導體設備制造商的專屬解決方案。公司構(gòu)建“5-7天快速交付+本地化技術(shù)支持”體系，服務網(wǎng)絡覆蓋全國，2025年專利申請量持續(xù)增長。

中微半導體設備(上海)股份有限公司成立于2004年，憑借“等離子體源與電極設計優(yōu)化”技術(shù)實現(xiàn)高精度、低能耗表面處理，設備應用于半導體制造、光電設備制造，客戶包括中芯國際、長江存儲等。2025年新專利推動設備自動化，消除人為失誤，提升穩(wěn)定性，專利布局達1425項。其等離子體處理裝置優(yōu)化氣體噴淋環(huán)設計，提升氣體流量均勻性，降低能耗，支持AI算法優(yōu)化工藝參數(shù)，推動半導體制造向智能化、綠色化演進，鞏固高端市場地位，支撐5G、AI等新興領(lǐng)域發(fā)展。2025年上半年，中微公司營業(yè)收入為49.61億元，同比增長43.88%；歸母凈利潤為7.06億元，同比增長36.62%。

六、行業(yè)發(fā)展趨勢

1、技術(shù)升級與創(chuàng)新，推動行業(yè)智能化轉(zhuǎn)型

中國等離子表面處理設備行業(yè)正加速技術(shù)創(chuàng)新，聚焦高精度、低能耗及環(huán)?；较颉Ｔ诘入x子體產(chǎn)生技術(shù)領(lǐng)域，磁約束等離子體、激光等離子體等新型技術(shù)實現(xiàn)突破，如中微公司通過“等離子體源與電極設計優(yōu)化”技術(shù)提升設備穩(wěn)定性，處理效率提升30%，能耗降低20%。智能化方面，AI算法與傳感器深度融合，實現(xiàn)工藝參數(shù)動態(tài)優(yōu)化，如寒武紀技術(shù)蘇州的低溫等離子清洗機通過機器學習自動調(diào)整功率輸出，處理精度達±0.1μm。

2、應用領(lǐng)域拓展，新興市場崛起

行業(yè)應用場景持續(xù)拓寬，從傳統(tǒng)半導體、汽車制造向醫(yī)療、環(huán)保、農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域延伸。在醫(yī)療領(lǐng)域，低溫等離子消融技術(shù)應用于皮膚科、心血管內(nèi)科，實現(xiàn)無創(chuàng)手術(shù)；上海茂虹的等離子設備為生物耗材提供親水改性，使酶標板水接觸角降至<10°，提升細胞培養(yǎng)效率。環(huán)保領(lǐng)域，等離子體廢氣處理技術(shù)實現(xiàn)工業(yè)VOCs減排超90%，蘇州愛特維的設備在危廢處理中實現(xiàn)重金屬離子固化率98%。新興市場方面，農(nóng)業(yè)土壤修復、新能源汽車電池隔膜處理成為增長點，如誠峰智造的卷對卷等離子處理系統(tǒng)在動力電池生產(chǎn)中提升產(chǎn)能300%，特斯拉Model Y采用在線等離子清洗技術(shù)，焊接效率提升40%。

3、國家政策持續(xù)推動行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展，產(chǎn)業(yè)鏈整合升級

國家政策持續(xù)推動行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。國家“十四五”規(guī)劃將等離子技術(shù)納入前沿科技攻關(guān)領(lǐng)域，國家自然科學基金、重點研發(fā)計劃等渠道加大投入。產(chǎn)業(yè)鏈整合方面，本土企業(yè)通過核心部件國產(chǎn)化突破技術(shù)壁壘，如恒運昌14nm射頻電源、中微公司1425項專利布局，實現(xiàn)設備自給率提升。國際競爭格局呈現(xiàn)“雙軌并行”，國際巨頭如Nordson占據(jù)高端市場，而中微等本土企業(yè)通過“設備+工藝包”模式在中低端市場崛起。

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢（rainbowgiftswholesale.com）發(fā)布的《中國等離子表面處理設備行業(yè)市場研究分析及投資前景研判報告》。智研咨詢是中國領(lǐng)先產(chǎn)業(yè)咨詢機構(gòu)，提供深度產(chǎn)業(yè)研究報告、商業(yè)計劃書、可行性研究報告及定制服務等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務。您可以關(guān)注【智研咨詢】公眾號，每天及時掌握更多行業(yè)動態(tài)。