離子注入機(jī)

離子注入機(jī)-產(chǎn)業(yè)百科

離子注入機(jī)是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的核心工藝設(shè)備，其通過將特定種類離子以精確控制的能量和劑量注入半導(dǎo)體材料，實現(xiàn)對材料電學(xué)性能的精準(zhǔn)調(diào)控。作為現(xiàn)代集成電路制造中不可或缺的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，離子注入機(jī)在摻雜工藝環(huán)節(jié)發(fā)揮著關(guān)鍵作用，通過改變半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電特性來構(gòu)建晶體管等基礎(chǔ)器件結(jié)構(gòu)，為大規(guī)模集成電路的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)提供了堅實的技術(shù)支撐。近年來，5G通信、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù)的蓬勃發(fā)展帶動全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)擴(kuò)張，直接推動了離子注入機(jī)市場的快速增長。據(jù)統(tǒng)計，中國離子注入機(jī)市場規(guī)模已經(jīng)從2016年的23.22億元增長至2024年的141.93億元，年復(fù)合增長率為25.39%。