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2018年中國(guó)中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀及發(fā)展前景分析【圖】

    在半導(dǎo)體行業(yè)的第三次景氣周期中,手機(jī)等消費(fèi)電子產(chǎn)品取代 PC 成為行業(yè)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)因素,中國(guó)是全球第一大消費(fèi)電子生產(chǎn)國(guó)和消費(fèi)國(guó),對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品的需求逐年快速提升。在消費(fèi)電子產(chǎn)品需求的驅(qū)動(dòng)下,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)開始向中國(guó)大陸轉(zhuǎn)移。如今中國(guó)已是全球半導(dǎo)體最大的銷售市場(chǎng)。半導(dǎo)體的銷售市場(chǎng)主要集中在亞太、北美和歐洲地區(qū),其中中國(guó) 2016 年半導(dǎo)體銷售額達(dá)到 1075 億美元,占全球市場(chǎng)份額的 31.7%, 其中集成電路產(chǎn)業(yè)銷售額 4335.5 億元,占全球份額的 23.6%, 已成全球最大的銷售市場(chǎng)。 在產(chǎn)業(yè)向中國(guó)轉(zhuǎn)移的背景下,中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)在國(guó)際市場(chǎng)中的分量和占比將進(jìn)一步提升。

中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)銷售額

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半導(dǎo)體銷售市場(chǎng)分布

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    中國(guó)市場(chǎng)供需錯(cuò)配嚴(yán)重,集成電路已成最大進(jìn)口商品。 由于我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)起步晚,生產(chǎn)水平和生產(chǎn)能力難以滿足下游巨大的需求,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的供需存在嚴(yán)重的供需錯(cuò)配情況,高度依賴進(jìn)口。以集成電路為例, 2016 年我國(guó)集成電路產(chǎn)品需求達(dá)到 1.20 萬(wàn)億元,而國(guó)內(nèi)供給量?jī)H為 4335.5 萬(wàn)億元, 自給率僅為 36%,大量集成電路產(chǎn)品依靠進(jìn)口。當(dāng)年集成電路產(chǎn)品進(jìn)口金額達(dá)到 2296 億美元,已經(jīng)替代原油成為我國(guó)第一大進(jìn)口商品。

我國(guó)集成電路行業(yè)供需錯(cuò)配嚴(yán)重(單位:億元)

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我國(guó)每年進(jìn)口大量集成電路產(chǎn)品

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    半導(dǎo)體生產(chǎn)流程涉及數(shù)百個(gè),甚至上千個(gè)工藝流程, 生產(chǎn)過(guò)程十分復(fù)雜,所需的設(shè)備種類、數(shù)量也很多。以集成電路為例,其生產(chǎn)流程主要分為 IC 設(shè)計(jì)、 IC 制造(前道) 、 IC 封測(cè)(后道) 三個(gè)環(huán)節(jié),設(shè)備需求主要集中在 IC 制造環(huán)節(jié),其次是 IC 封測(cè)環(huán)節(jié), IC 設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)涉及的設(shè)備較少。

    我們對(duì) IC 芯片制造的核心工藝流程和核心設(shè)備進(jìn)行了梳理,得到如下全景圖,我們將基于此圖詳解 IC 芯片的關(guān)鍵生產(chǎn)流程和核心設(shè)備。

IC 芯片制造核心工藝主要設(shè)備全景圖

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    自半導(dǎo)體誕生以來(lái),半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)歷了三輪完整的發(fā)展周期:第一輪周期發(fā)生在 20 世紀(jì) 70 年代-90 年代,彼時(shí)半導(dǎo)體已經(jīng)具有大規(guī)模應(yīng)用的基礎(chǔ),在工業(yè)級(jí)計(jì)算機(jī)、 PC 的先后推動(dòng)下,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)銷售額呈現(xiàn)出指數(shù)級(jí)別的增長(zhǎng),并于 1995 年突破了 1000 億美元大關(guān),這輪周期中電子、計(jì)算機(jī)等系統(tǒng)中半導(dǎo)體產(chǎn)品價(jià)值占比超過(guò)了 20%。第二輪周期從 2001 年延續(xù)至 2008 年,主要的下游驅(qū)動(dòng)因素是筆記本電腦、 2G、 3G 無(wú)線通信對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品的需求,這一階段全球半導(dǎo)體銷售額從 1472 億美元增長(zhǎng)到了 2553 億美元,增長(zhǎng)了 73.4%。第三輪周期從 2010 年開始,到 2014 年結(jié)束,這一輪周期中半導(dǎo)體的銷售額從 2953 億美元增長(zhǎng)到了 3344 億美元,首次突破了 3000 億美元大關(guān)。這輪周期的主要下游需求推動(dòng)來(lái)自于以智能手機(jī)為代表的移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)品。2014 年后,智能手機(jī)出貨量趨于平穩(wěn),全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)銷售額也進(jìn)入了穩(wěn)定期, 2015、 2016 年銷售額分別為 3373 億美元、 3347 億美元,同比分別增長(zhǎng) 1.1%、 -0.8%。

全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)歷經(jīng)三輪發(fā)展周期(單位:十億美元)

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    2017 年半導(dǎo)體銷售額同比增長(zhǎng)超 20%,全年銷售額將超 4000 億美元,迎來(lái)新一輪景氣周期。從2016 年 8 月開始,全球半導(dǎo)體銷售額開始重回增長(zhǎng)軌道,月度銷售額同比增速開始由負(fù)轉(zhuǎn)正。從2016 年 10 月到 2017 年 10 月,半導(dǎo)體銷售額已連續(xù) 13 個(gè)月超過(guò) 300 億美元,已經(jīng)超過(guò)歷史上的最好水平,不斷創(chuàng)下歷史新高。 2017 年 1-10 月全球半導(dǎo)體銷售總額已經(jīng)達(dá)到 3294 億美元,同比增長(zhǎng) 21%,且月度同比增速呈現(xiàn)上升趨勢(shì),我們預(yù)計(jì) 9-12 月的銷售增速有望繼續(xù)提升。 2016年全球半導(dǎo)體銷售額為全年半導(dǎo)體銷售額為 3389 億美元,今年突破 4000 億美元基本已成定局。

全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)月度銷售額(十億美元)

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    行業(yè)景氣向好帶動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備需求重回高增長(zhǎng)區(qū)間。 半導(dǎo)體銷售額與設(shè)備銷售額存在高度同步性,此次半導(dǎo)體行業(yè)的復(fù)蘇伴隨著半導(dǎo)體設(shè)備需求的提升。從 2016 年 10 月開始,北美半導(dǎo)體設(shè)備商出貨額開始進(jìn)入高增長(zhǎng)區(qū)間, 2017 年 1-10 月總出貨額達(dá)到 211 億美元,同比增長(zhǎng) 41%, 1-6 月同比增長(zhǎng)更是達(dá)到 150%,并且連續(xù) 8 個(gè)月銷售額均超過(guò) 20 億美元,為歷史上的最高水平。

北美半導(dǎo)體設(shè)備商月度出貨額(百萬(wàn)美元)

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    國(guó)家不斷出臺(tái)相關(guān)政策,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)支持力度空前。 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),尤其是集成電路產(chǎn)業(yè), 是信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心,是支撐經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展和保障國(guó)家安全的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè),一直受到國(guó)家的關(guān)注和重點(diǎn)扶持。從 21 世紀(jì)初至今,國(guó)家頒布了一系列的政策來(lái)支持和引導(dǎo)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,支持力度不斷加大,引導(dǎo)路徑逐漸清晰。(1) 4 號(hào)文延續(xù) 10 年行業(yè)支持政策,展現(xiàn)國(guó)家扶持決心。 2000 年 6 月,國(guó)務(wù)院發(fā)布了《關(guān)于印發(fā)鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干政策的通知》 (18 號(hào)文),在審批程序、稅收支持、進(jìn)出口、投融資、人才培養(yǎng)等各方面給予了集成電路行業(yè)重點(diǎn)扶持。該通知在 2011 年到期,隨即國(guó)務(wù)院發(fā)布了《關(guān)于印發(fā)進(jìn)一步鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干政策的通知》 (4 號(hào)文)延續(xù)了各扶持措施,并修正了原 18 號(hào)文中因外力影響導(dǎo)致的 2005 年后集成電路行業(yè)優(yōu)惠力度減小。4 號(hào)文對(duì) 18 號(hào)文的延續(xù)說(shuō)明國(guó)家對(duì)于集成電路產(chǎn)業(yè)的支持的一貫的,展現(xiàn)了國(guó)家支持的決心。

    (2) 02 專項(xiàng)扶持國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)領(lǐng)軍者。 2008 年,科技部和信產(chǎn)部啟動(dòng)了“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”項(xiàng)目(02 專項(xiàng)),以專項(xiàng)的形式組織了一批國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公司進(jìn)行了一系列重點(diǎn)工藝和技術(shù)的攻關(guān),包括 45-22 納米關(guān)鍵制造裝備攻關(guān),開發(fā) 32-22 納米 CMOS 工藝、 90-65 納米特色工藝,開展 20-14 納米前瞻性研究等。通過(guò) 02 專項(xiàng)的扶持國(guó)內(nèi)誕生了北方華創(chuàng)、中微半導(dǎo)體、上海微電子等一批半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)領(lǐng)軍者,并形成了 65-45 納米裝備、材料、工藝配套能力及集成電路制造產(chǎn)業(yè)鏈。

    (3) 《綱要》發(fā)布,帶來(lái)最大支持力度和最清晰發(fā)展路徑。 2014 年 6 月,國(guó)務(wù)院印發(fā)《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》 ,為集成電路行業(yè)在重要戰(zhàn)略機(jī)遇期和攻堅(jiān)期的發(fā)展描繪了明確的發(fā)展目標(biāo)?!毒V要》提出,到 2020 年集成電路行業(yè)銷售收入要實(shí)現(xiàn) 20%的復(fù)合增長(zhǎng)率; IC 設(shè)計(jì)和 IC封測(cè)領(lǐng)域技術(shù)均達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平; 16/14nm 制程工藝實(shí)現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn); 關(guān)鍵裝備和材料進(jìn)入國(guó)際采購(gòu)體系。并在資金、稅收、人才等各領(lǐng)域提供支持?!毒V要》是目前國(guó)家發(fā)布的最詳細(xì)、力度最大的支持政策,再次展現(xiàn)了國(guó)家發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的意志。

《綱要》 發(fā)展目標(biāo)及支持

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國(guó)家出臺(tái)了一系列政策支持半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展

2000 年 6 月
《關(guān)于印發(fā)鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干政策的通知》
在審批程序、稅收支持、進(jìn)出口、投融資、人才培養(yǎng)等各方面給予了集成電路行業(yè)重點(diǎn)扶持。
2006 年 2 月
《國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要(2006-2020 年)》
確定了包括核心電子器件、高端通用芯片及基礎(chǔ)軟件,極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝在內(nèi)的 16 個(gè)專項(xiàng)。
2011 年 2 月
《進(jìn)一步鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干政策》
在《鼓勵(lì)軟件業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干政策》的基礎(chǔ)上加大了對(duì)重大科技專項(xiàng)的資金支持,鼓勵(lì)和引導(dǎo)社會(huì)資金、金融企業(yè)向該行業(yè)投入,支持企業(yè)引入海外人才,政策惠及整個(gè)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈。
2011 年 7 月
《國(guó)家“十二五”科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃》
02 專項(xiàng)重點(diǎn)進(jìn)行 45-22 納米關(guān)鍵制造裝備攻關(guān),開發(fā) 32-22 納米互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)工藝、 90-65 納米特色工藝,開展 22-14 納米前瞻性研究,形成 65-45 納米裝備、材料、工藝配套能力及集成電路制造產(chǎn)業(yè)鏈,進(jìn)一步縮小與世界先進(jìn)水平差距,裝備和材料占國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的份額分別達(dá)到 10%和 20%,開拓國(guó)際市場(chǎng)。
2011 年 12 月
《集成電路產(chǎn)業(yè)“十二五”發(fā)展規(guī)劃》
到“十二五”末,產(chǎn)業(yè)規(guī)模至少再翻一番,形成一批具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的企業(yè),基本建立以企業(yè)為主體的產(chǎn)學(xué)研用相結(jié)合的技術(shù)創(chuàng)新體系;專用集成電路設(shè)備、儀器及材料:關(guān)鍵設(shè)備達(dá)到 12 英寸、 32 納米工藝水平; 12 英寸硅單晶和外延片實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),關(guān)鍵材料在芯片制造工藝中得到應(yīng)用,并取得量產(chǎn)。
2014 年 6 月
《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》
加強(qiáng)集成電路裝備、材料與工藝的結(jié)合,研發(fā)光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備,開發(fā)光刻膠、大尺寸硅片等關(guān)鍵材料,加強(qiáng)集成電路制造企業(yè)和裝備、材料企業(yè)的協(xié)作,加快產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程,增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)配套能力。
2015 年 5 月
《中國(guó)制造 2025》
著力提升集成電路設(shè)計(jì)水平,不斷豐富知識(shí)產(chǎn)權(quán)(IP)核和設(shè)計(jì)工具,突破關(guān)系國(guó)家信息與網(wǎng)絡(luò)安全及電子整機(jī)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心通用芯片,提升國(guó)產(chǎn)芯片的應(yīng)用適配能力。掌握高密度封裝及三維(3D)微組裝技術(shù),提升封裝產(chǎn)業(yè)和測(cè)試的自主發(fā)展能力。形成關(guān)鍵制造裝備供貨能力。

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    大基金籌資超千億支持集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展。 《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》提出建立國(guó)家產(chǎn)業(yè)投資基金, 吸引大型企業(yè)、金融機(jī)構(gòu)以及社會(huì)資金,重點(diǎn)支持集成電路等產(chǎn)業(yè)發(fā)展。 2014 年 9月, 國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金(大基金)正式成立,計(jì)劃籌資 1000 億元,實(shí)際籌資 1387 億元。大基金的投資總期限將達(dá)十五年,投資期(2014-2019)、回收期(2019-2024)、展期(2024-2029)各五年。不同于國(guó)家直接對(duì)半導(dǎo)體企業(yè)進(jìn)行補(bǔ)貼的模式,大基金通過(guò)資金入股的方式對(duì)企業(yè)進(jìn)行資金支持,雖不直接參與公司運(yùn)作,但仍起到監(jiān)督和監(jiān)管的作用,促使企業(yè)合理使用投資金額,將資金用于技術(shù)的研發(fā)和創(chuàng)新,產(chǎn)品的研發(fā)和推廣上,相對(duì)于傳統(tǒng)的補(bǔ)貼模式,大基金模式勢(shì)必使資金具有更高的使用效率。截止 2017 年 9 月底,大基金已累計(jì)決策投資 55 個(gè)項(xiàng)目,涉及 40 家集成電路企業(yè),共承諾出資1003 億元,實(shí)際出資 653 億元。 大基金的投資涵蓋集成電路產(chǎn)業(yè)的各個(gè)環(huán)節(jié),其中 IC 制造是投資額最高、最為集中的環(huán)節(jié),占到承諾投資的 65%。 IC 設(shè)計(jì)、 IC 封測(cè)、裝備材料領(lǐng)域則分別占17%、 10%、 8%。 雖然設(shè)備企業(yè)占投資比例較少,但是行業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的設(shè)備企業(yè),包括北方華創(chuàng)、長(zhǎng)川科技、中微半導(dǎo)體、沈陽(yáng)拓荊等都得到了大基金的投資。

大基金投資的部分項(xiàng)目

類別
投資企業(yè)
投資金額(億)
設(shè)計(jì)
珠海艾派克微電子有限公司
5
國(guó)科微電子股份有限公司
4
北京北斗星通導(dǎo)航技術(shù)股份有限公司
15
深圳市中興微電子技術(shù)有限公司
24
盛科網(wǎng)絡(luò)(蘇州)有限公司
2.5
深圳國(guó)微技術(shù)有限公司
承諾投資
制造
紫光集團(tuán)有限公司
100
中芯國(guó)際集成電路制造有限公司
27
三安光電股份有限公司
43.391
杭州士蘭微電子股份有限公司
6
長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限公責(zé)任公司
承諾投資
中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司
43
封測(cè)
江蘇長(zhǎng)電科技股份有限公司
20.31
華天科技(西安)有限公司
5
中芯長(zhǎng)電半導(dǎo)體(江陰)有限公司
10.83
南通富士通微電子股份有限公司
2.7
設(shè)備
中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
4.8
杭州長(zhǎng)川科技股份有限公司
0.06
沈陽(yáng)拓荊科技有限公司
1.65
北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
6
睿勵(lì)科學(xué)儀器(上海)有限公司
承諾投資
材料
江蘇鑫華半導(dǎo)體材料科技有限公司
5
安集微電子科技(上海)有限公司
0.05
煙臺(tái)德邦科技有限公
0.22
江蘇中能集團(tuán)有限公司
承諾投資
基金公司
北京制造和裝備子基金公司
10.05
巽鑫(上海)投資有限公司
100
北京集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金
10
北京芯動(dòng)能投資管理有限公司
15
芯鑫融資租賃有限責(zé)任公司
20
上海市硅產(chǎn)業(yè)投資有限公司
7
福建安芯產(chǎn)業(yè)投資基金
25
中芯聚源股權(quán)投資管理(上海)有限公司
0.02
北京山海昆侖資本
承諾投資
蘇州元禾控股股份有限公司
承諾投資

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大基金投資以 IC 制造為主

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    大基金的成立同時(shí)撬動(dòng)了一批地方產(chǎn)業(yè)基金, 截止到 2017 年上半年,全國(guó)成立了二十余支集成電路地方產(chǎn)業(yè)基金,主要用于支持地方集成電路企業(yè)的發(fā)展,培育一批符合產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向的標(biāo)桿企業(yè)。據(jù)不完全統(tǒng)計(jì),集成電路地方產(chǎn)業(yè)基金募資總規(guī)模已經(jīng)達(dá)到 3600 億,加上大基金,全國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)基金規(guī)模達(dá)到 5000 億。目前第二期的大基金正在籌劃中,預(yù)計(jì)籌資額將達(dá)到 1500-2000 億元,加上對(duì)地方產(chǎn)業(yè)基金的撬動(dòng),全國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)基金總規(guī)模有望超過(guò) 1 億美元。第二期的大基金預(yù)計(jì)會(huì)將投資重點(diǎn)轉(zhuǎn)移至IC 設(shè)計(jì)領(lǐng)域,并加大 IC 封測(cè)、裝備材料領(lǐng)域的投資力度。

地方集成電路產(chǎn)業(yè)基金

北京
2013.1
300
集成電路設(shè)計(jì)、制造、封裝、測(cè)試、核心裝備等關(guān)鍵環(huán)節(jié)
天津
2014.2
2 億/年
集成電路設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)
安徽
2014.1
2.5
半導(dǎo)體和電子信息產(chǎn)業(yè)
廣東
2015.7
5 億/年
市級(jí)實(shí)驗(yàn)室、重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、工程研究中心等研發(fā)
江蘇
2015.7
10
集成電路設(shè)計(jì)、芯片生產(chǎn)線、先進(jìn)封裝測(cè)試
湖北
2015.8
300
集成電路制造,兼顧設(shè)計(jì)、封裝等上下游產(chǎn)業(yè)鏈
深圳
2015.1
200
儲(chǔ)存器
合肥
2015.1
100
集成電路產(chǎn)業(yè)
貴州
2015.1
18
集成電路產(chǎn)業(yè)
上海
2016.1
500
100 億元設(shè)計(jì)并購(gòu)基金, 100 億元裝備材料業(yè)基金, 300 億元制造業(yè)基金
廈門
2016.3
160
培育一批符合廈門產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向的標(biāo)桿企業(yè)
湖南
2016.3
50
集成電路產(chǎn)業(yè)
四川
2016.3
100-120
扶持壯大四川優(yōu)勢(shì)的集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè)
遼寧
2016.5
100
集成電路產(chǎn)業(yè)
廣東
2016.6
150
集成電路設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)及材料裝備等產(chǎn)業(yè)鏈重大和創(chuàng)新項(xiàng)目
陜西
2016.8
300
集成電路制造、封裝、測(cè)試、核心裝備等產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)的重點(diǎn)項(xiàng)目投資
南京
2016.1
500-600
推動(dòng)南京集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展
無(wú)錫
2017.1
200
重點(diǎn)聚焦、培育若干個(gè)國(guó)內(nèi)外知名的集成電路龍頭企業(yè),扶持一批中小集成電路企業(yè)
昆山
2017.2
100
引導(dǎo)社會(huì)資本、產(chǎn)業(yè)資本和金融資本等投向集成電路產(chǎn)業(yè)
安徽
2017.5
300
重點(diǎn)投資集成電路晶圓制造、設(shè)計(jì)、封測(cè)、裝備材料等全產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域

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    中國(guó)大陸將迎來(lái)晶圓產(chǎn)線建設(shè)高峰期。2017-2020 年間,全球?qū)⒂?62 座新建晶圓廠投入營(yíng)運(yùn)。這 62 座晶圓廠中,只有 7 座是研發(fā)用的晶圓廠,其他晶圓廠都是量產(chǎn)型廠房。以地理區(qū)來(lái)看,中國(guó)大陸在這段期間將有 26 座新的晶圓廠投入營(yíng)運(yùn),占新增晶圓廠的比重高達(dá) 42%。美國(guó)則有 10 座,臺(tái)灣為 9 座。按照晶圓廠生產(chǎn)的產(chǎn)品型態(tài)來(lái)看, 32%的新增晶圓產(chǎn)能將用做晶圓代工、 21%為存儲(chǔ)。

    已開工產(chǎn)線帶來(lái)超 4000 億元設(shè)備需求, 2018、 2019 是需求高峰年。 目前已統(tǒng)計(jì)到有 17 座晶圓廠已經(jīng)開工建設(shè),晶圓廠的建設(shè)周期達(dá)到 2-3 年,其中廠房封頂需要約 1.5 年時(shí)間,生產(chǎn)設(shè)備在廠房封頂后開始進(jìn)入。根據(jù)已開工晶圓廠的建設(shè)周期和投資額,我們預(yù)計(jì)這 17 座晶圓廠將在2017-2019 年間帶來(lái) 4121 億元的半導(dǎo)體設(shè)備投資需求, 需求主要集中在 2018 年,達(dá)到 2274 億,2019 年則達(dá)到 1059 億。 隨著其余規(guī)劃中晶圓廠的陸續(xù)投建, 2018-2020 年間的半導(dǎo)體設(shè)備需求將進(jìn)一步提升,我們預(yù)計(jì)半導(dǎo)體設(shè)備的需求高峰將集中在 2018、 2019 年。各類設(shè)備中,光刻機(jī)所占份額最大,預(yù)計(jì)達(dá) 30%,對(duì)應(yīng) 1264 億的市場(chǎng)空間??涛g設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備占比約 20%,均對(duì)應(yīng) 843 億空間, 以上三類設(shè)備占到總設(shè)備需求的 70%。 檢測(cè)設(shè)備、清洗設(shè)備、其他設(shè)備各自對(duì)應(yīng) 421、 337、 506 億空間。

    02 專項(xiàng)培育了一批國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)軍者。 02 專項(xiàng)組織了一批國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公司進(jìn)行了一系列重點(diǎn)工藝和技術(shù)的攻關(guān),攻關(guān)領(lǐng)域涵蓋光刻機(jī)、 PVD、 CVD、離子注入機(jī)、清洗機(jī)、檢測(cè)設(shè)備等各類半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備,并以此培育了一批具有先進(jìn)生產(chǎn)技術(shù)和自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè),包括北方華創(chuàng)、中電科、沈陽(yáng)拓荊、上海微電子、中微半導(dǎo)體等。

部分 02 專項(xiàng)設(shè)備企業(yè)

北方華創(chuàng)
刻蝕機(jī)、 PVD、 CVD、氧化爐、清洗機(jī)
2001(2016 年整合)
中電科
離子注入機(jī)、分選機(jī)、鍵合機(jī)、減薄機(jī)、清洗機(jī)
2013(整合)
沈陽(yáng)拓荊
PECVD、 ALD 等沉積設(shè)備
2010
沈陽(yáng)芯源
勻膠機(jī)、顯影機(jī)、清洗機(jī)、刻蝕機(jī)、去膠機(jī)
2002
華海清科
化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)、膜厚檢測(cè)機(jī)
2013
中微半導(dǎo)體
介質(zhì)刻蝕機(jī)、硅刻蝕機(jī)
2002
上海微電子
光刻機(jī)、鍵合設(shè)備
2003
盛美半導(dǎo)體
化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)、清洗機(jī)
1998

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    國(guó)產(chǎn)設(shè)備已在 8、 12 英寸產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)批量應(yīng)用。 在 02 專項(xiàng)、產(chǎn)業(yè)大基金的支持和培育下,我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)已經(jīng)取得了一系列技術(shù)和產(chǎn)品的突破,多項(xiàng)專項(xiàng)項(xiàng)目結(jié)項(xiàng),多種類、多型號(hào)半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備研發(fā)成功, 且包括刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、清洗機(jī)等在內(nèi)的關(guān)鍵半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備已在65-28nm 制程晶圓產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)了批量應(yīng)用,成為中芯國(guó)際等晶圓生產(chǎn)廠商的 baseline 機(jī)臺(tái), 說(shuō)明國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備已有進(jìn)入主流晶圓生產(chǎn)線供貨體系的能力。此外多項(xiàng) 14nm 制程設(shè)備也開始進(jìn)入生產(chǎn)線進(jìn)行工藝驗(yàn)證,有望在未來(lái)兩年內(nèi)進(jìn)入產(chǎn)線。對(duì)于大陸半導(dǎo)體設(shè)備廠商來(lái)說(shuō),除光刻機(jī)目前只能滿足 90nm 制程芯片生產(chǎn),難以進(jìn)入新建產(chǎn)線設(shè)備需求外, 其他設(shè)備基本都已滿足晶圓產(chǎn)線的量產(chǎn)需求。由于地理上的優(yōu)勢(shì),國(guó)產(chǎn)設(shè)備商在與晶圓生產(chǎn)商在合作進(jìn)行設(shè)備的開發(fā)和驗(yàn)證上有巨大的便利性,且國(guó)產(chǎn)設(shè)備在性價(jià)比和售后服務(wù)上有更強(qiáng)的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),疊加國(guó)家對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的政策指引,國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)商有望借助中國(guó)大陸晶圓產(chǎn)線的密集投建實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)設(shè)備滲透率的快速提升,同時(shí)迎來(lái)自身業(yè)績(jī)的高速爆發(fā)期。

部分國(guó)產(chǎn) 12 英寸半導(dǎo)體設(shè)備已在生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)了批量應(yīng)用

1
介質(zhì)刻蝕機(jī)
中微半導(dǎo)體
65-28nm
已采購(gòu)>50
2
硅刻蝕機(jī)
北方華創(chuàng)
65-28nm
已采購(gòu)>20
3
PVD 設(shè)備
北方華創(chuàng)
65-28nm
已采購(gòu)>20
4
單片退火設(shè)備
北方華創(chuàng)
65-28nm
已采購(gòu)>20
5
清洗設(shè)備
北方華創(chuàng)
65-28nm
已采購(gòu)>20
6
清洗機(jī)
上海盛美
65-28nm
已采購(gòu)>20
7
立式爐
北方華創(chuàng)
65-28nm
已采購(gòu)>10
8
離子注入機(jī)
北京中科信
65-28nm
已采購(gòu)>10
9
光學(xué)尺寸測(cè)量設(shè)備
睿勵(lì)科學(xué)儀器
65-28nm
已采購(gòu)>10
10
PECVD 設(shè)備
沈陽(yáng)拓荊
65-28nm
已采購(gòu)>10
11
光罩清洗設(shè)備
瑞擇微電子
90nm
已采購(gòu)>10
12
化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備
天津華海清科
已采購(gòu)>50

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已進(jìn)入產(chǎn)線進(jìn)行驗(yàn)證的 14nm 設(shè)備

1
硅刻蝕機(jī)
北方華創(chuàng)
STI ETCH
2
HM PVD 設(shè)備
北方華創(chuàng)
HM DEP
3
單片退火設(shè)備
北方華創(chuàng)
Anneal
4
LPCVD
北方華創(chuàng)
SiO2 Film Deposition
5
Al PVD 設(shè)備
北方華創(chuàng)
Al DEP
6
ALD
北方華創(chuàng)
Hi-K insulator
7
介質(zhì)刻蝕機(jī)
中微半導(dǎo)體
AIO ETCH、 PASS ETCH
8
光學(xué)尺寸測(cè)量設(shè)備
睿勵(lì)科學(xué)儀器
Film Thickness/OCD
9
清洗機(jī)
上海盛美
Wafer recycle

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    相關(guān)報(bào)告:智研咨詢發(fā)布的《2018-2024年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)現(xiàn)狀及投資戰(zhàn)略研究報(bào)告

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精品報(bào)告智研咨詢 - 精品報(bào)告
2026-2032年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備電源行業(yè)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)態(tài)勢(shì)及未來(lái)趨勢(shì)研判報(bào)告
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《2026-2032年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備電源行業(yè)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)態(tài)勢(shì)及未來(lái)趨勢(shì)研判報(bào)告》共八章,包含中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備電源行業(yè)鏈結(jié)構(gòu)及全產(chǎn)業(yè)鏈布局狀況研究,中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備電源行業(yè)重點(diǎn)企業(yè)布局案例研究,中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備電源行業(yè)市場(chǎng)及投資戰(zhàn)略規(guī)劃策略建議等內(nèi)容。

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監(jiān)控分技術(shù)委員會(huì)

聯(lián)合發(fā)布

TC280/SC6在

用潤(rùn)滑油液應(yīng)

用及監(jiān)控分技

術(shù)委員會(huì)

標(biāo)準(zhǔn)市場(chǎng)調(diào)查

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